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◎ESD静电量测设备、TSI风速计、Rotronic 温湿度计、.等。

◎CMP Slurry Particle 分析; 超微粒径分析仪最新的声波检测原理，Sample不需稀释即可分析出准确的Particle Size ◎ASYS UV 表面微粒子检侧灯 (对黄光机;蚀刻机; 曝光机; 显影机 及偏光板贴附机台效果最为显著) ◎ASYS KT-200气流可视化纯水烟雾机适合用在观察Cleanbooth;及机台运转时气流之方向 ◎ION Counter正负离子计数器 耀群科技提供完整解决的方案，相信可以成为贵公司最好的技术顾问伙伴。

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