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外延片晶圆激光雕刻机 1
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外延片晶圆激光雕刻机

型号:-
品牌:激光大师
原产地:台湾 中国
类别:工业设备 / 其他工业设备
标签︰激光雕刻机
单价: -
最少订量:1 件
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广州华之尊光电科技有限公司

免费会员江苏省苏州市
即时通讯:最后上线︰2014/10/29

产品描述

外延片晶圆激光雕刻机产品说明:
    ILS系列外延片晶圆激光雕刻机广泛应用于外延片(芯片、磊晶)行业,主要用来雕刻序列号,品质稳定,雕刻精细,速度快,保证产品质量。台湾兆晶、上海蓝宝、云南蓝晶等公司目前都在使用ILS系列芯片激光雕刻机。
    原装进口ILS系列智慧型高精度外延片晶圆激光雕刻机是台湾最大的工业用镭射系统制造商悉心研制的具有国际水准的名牌设备,其核心部件全部从美国原装进口,曾荣获“台湾精品奖”;『激光大师』全球知名品牌,台湾原装设备。历经20年市场风雨考验,全球同步销售。外延片晶圆激光雕刻机以全电脑化操控,人性化设计,最优的性价比而享誉同行,填补了雕刻机不能切割,切割机不能雕刻的行业空白。精彩绝伦的雕刻,无与伦比的切割(高精度半切割/全切割工艺),1524mm/s超高速、超加速的长期无故障运行,是当前外延片晶圆激光雕刻机中的至尊选择!
    ILS系列外延片晶圆激光雕刻机拥有最新设计、易学好用的特性,工作台面为A2尺寸(或更大尺寸),电控式Z轴升降,实用贴切的前后开门设计,让您的加工作业更灵活,更有弹性。工作区有内置照明装置,这个贴心的设计可使您清晰掌控工作状况。除此之外,ILS系列外延片晶圆激光雕刻机具有高分辨率、高内存、高速度、高精度、高稳定性等重要特点,堪称工业用行业标准外延片晶圆激光雕刻机,是掌握速度与精度的最佳雷射系统,是您提高工作效率上的最佳伙伴及有效工具!

外延片晶圆激光雕刻机软件特殊效果:
1、斜肩:此功能使得极细线的部分增加了强度
2、反白:点选此功能,能使得黑白反转
3、镜射:可自动将图档水平反转
4、补正:可防止原来图档中的边缘被雷射光打到,影响精度
5、打点:可定点打孔,可任意设定停滞及位移的时间
6、位置调整:可任意设定要雕刻或是切割的位置,不需要在电脑上做修正
7、浮雕:可识别颜色及灰度产生浮雕效果

外延片晶圆激光雕刻机技术参数表:
 
型号
ILS-IIINM
有效工作幅面
660 × 495mm
激光功率
25W / 30W / 55W / 60W / 100W
激光源
美国原装金属射频激光源、风冷
激光波长
10.64μm
功率控制
数位式功率控制,可由0.1~100%无段控制,且可依图形成比例的控制脉波产生速度,同时可依图形颜色设定不同功率。
聚焦镜
标配1.5"聚焦镜
最大速度
1524mm/sec(60"/sec)
重复精度
0.001mm
定位精度
0.01mm
分辨率(DPI)
1000、500、333、250、200、166
最大容纳尺寸
640(L) × ∞ (W) × 210 (H) mm
Z轴工作台调整
0~210mm、电动升降
记忆体容量
标准64MB高记忆体,可同时存储99个档案
显示荧幕
大尺寸LCD显示器上有目前执行档案、激光功率、切割雕刻速度、执行时间、已储存档案内容,及自动侦错等多项功能显示
传输接口
USB接口、以太网络连接接口
开门设计
前后开门设计
对焦方式
手动/自动对焦
驱动程式语言
可切换中、英文或自定语系
使用软件
所有Windows兼容的CAD及绘图软件皆可
操作方式
可利用Windows兼容的打印机驱动程式来设定,或从操作面板由人工设定
安全规格
符合CDRH Class 1 安全规范,通过CE、RoHS认证
冷却系统
气水分离器
排气设备
外部排气设备 6.0m3/min、4寸风管
定位指示
红光模组
可选配置
旋转辅助器、切割平台、真空下吸蜂巢网、印章夹具、网络打印服务器
动力规格
110/220V AC 、10/15AMP、50/60HZ
整机重量
200Kg(25W)
205Kg(30W)
225Kg(55W)
228Kg(60W)
255Kg(100W)
外型尺寸
970(L) ×865(W) ×990 (H) mm
 
 

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外延片晶圆激光雕刻机 1
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