产品描述
NorthStar ALD 系统
l NorthStar ALD系统提供各种淀积方法，包括热淀积以及能量增强淀积。
l 每台设备可以提供多达8个先驱源管路以及一个热壁淀积腔，使其应用范围极为广泛。
l 设备的快速舱口盖或装载室（可选件）使样品操作快捷方便。
l NorthStar ALD系统不但能跟其他设备连接起来，还能连接多种测量仪器。
l 原位测量工具以及RoboALD软件自动化系统提高了工艺的再现性。
l 可以直接升级至超高真空
l 提供工艺演示以及工艺培训服务
产品图片
图 1
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