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SET3/1064/532/355，SFT3：激光调阻机解决方案

产品特点：

--调阻精度高

1.先进的激光器提供了TEM00高光束质量和极细线宽的激光束

2.四线制高速测量系统，测量时间仅为25us

3.拥有软件预调误差补偿功能

--调阻速度快

1.先进的激光器拥有极高的重复频率，在保证光斑重叠率的情况下能拥有很高速度

2. 德国进口扫描振镜，扫描速度极快

3.高精度分步重复机构，空气轴承，移动速度及加速度快

--可靠性高

1.整机配置核心器件均采用原装进口配置

2.采用花岗岩台座，稳定可靠

--功能强大

1.拥有温度实时补偿功能

2.同时具有激光划片和打标功能

--运行及维护成本低廉
1.采用半导体端面泵浦或光纤激光器

2.使用寿命长，性能稳定

3.电光转换效率高，节约用电成本

4.采用风冷系统，无须外置冷却设备

5. 操作简单，无须高额培训成本

技术参数：

--激光器系统
1.激光类型：半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器

2.激光波长：1064/532/355nm

3.激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)

4.激光频率：200Hz-50KHz

5.典型光斑尺寸：30μm

实际切口取决于材料、光学器件和波长；可根据需要选配532绿激光或355紫外激光最小光斑达12μm

6.泵浦源使用寿命：20,000—100，000小时

7.冷却方式：风冷

9.对焦方式：计算机程序控制

--激光束定位系统

1.激光束运动范围：75mmX75mm（可选配其他规格）

2.点到点运动时间：5ms（典型）

3.最大速度：7000mm/s

4.重复定位精度：2.5μm

5.激光束最小步进：0.76μm

--图像监视系统

1.监视方式：激光同轴监视

2.最大放大倍数：>100倍

3.图像监视显示屏：19寸液晶

--测量系统

1.激励方式：电流/电压激励

2.恒流源：0.01μA~100mA计算机程控选择

3.恒压源：0~20V计算机程控选择（可选其它电压范围）

4.电阻测量方式：四线制加电流测电压

5.直流电压测量：10mV~10V（满程电压）

6.调节对象发热控制：程序可设定

7.电阻测量精度：低阻：<0.05%+1%/R  （R<100Ω）    

        中阻：<0.05%

        高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）

8.电阻测量范围：0.01Ω-500MΩ

9.电阻测量速度：25μs

10.直流电压分辨率：0.16μV（在10mV满量程条件下）

11.探针板：44针11组四线制（可选其它规格）

12.探针板运动：计算机程序控制

--计算机及软件系统

1.工业控制计算机（双核），17寸液晶

2.操作系统：Windows XP

3.VB平台开发的可视化应用软件，界面友好，功能强大

--分步重复运动系统

1.运动XY范围：290x260mm

2.运动分辨率：1μm

3.定位精度：小于6μm（带误差补偿）

4.重复定位精度：小于3μm  

5.最大运动速度：900mm/s

6.具有温度补偿等功能

--非接触温度测量

4.温度测量精度：0.2℃

5.调阻温度修正：计算机程序控制

--其它技术指标

1.供电电压：220V AC

2.整机功耗：小于1000W

 

应用和市场：

主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于

厚膜混合集成电路
电子元器件

汽车电器

传感器

军工科研
片式电阻等行业