产品描述
INFICON PEG100/PEG100-D/PEG100-P潘宁规提供了可靠的高真空测量。无高真空灯丝。由于等离子点火的钛阴极板和高电压降低，潘宁规也可以应用在阴极溅射镀膜工艺上。在总线的选择方面，除了对数的模拟输出信号输出外还有便于集成到真空系统的Profibus DP或DeviceNet协议输出
■测量范围广：5 X 10 -7～1 Pa
■全金属冷阴极陶瓷传感器
■新型几何电极提供了极好的点火性能
■降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险，即使在氩溅射过程中也一样
■阳极环和钛阴极可清洗，更换容易
■最小磁场强度测量
■ LED指示灯电源和等离子点火
■对数模拟输出信号
■ Fieldbus总线接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系统的网络通信
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