产品描述
URE-2000系列光刻机
型号：17
二、主要技术指标：
1、曝光面积：ф100mm；
2、分辨力： 1.7µm（胶厚2 µm的正胶）；
3、对准精度： ±1µm；
4、掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm；
5、掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch；
6、样片尺寸：直径ф15mm-- ф100mm、
厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)；
7、照明均匀性：±6%（ф100mm 范围）；
8、掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°；
9、汞灯功率：200W（直流）；
10、曝光波长：365nml
11、曝光能量密度：6mW/cm (420nm以上波长小于0.2mW/cm )l
12、曝光方式：定时（到计时方式）
13、外形尺寸：650mm（长）´600mm(宽)´900mm（高）
产品图片
图 1
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