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自然界中物质的形态除了固、液、气三种形态之外，还存在第四态，即等离子体状态。等离子体的产生过程为：固体物质在受热的情况下熔化成液体，液体进一步受热后变成气体，气体进一步受热后，中性的原子和分子电离成离子和电子，形成等离子体。由于等离子体中含有大量具有高能量的活性基团，这使得等离子体能够参与或发生许多不同的化学或物理反应。
   可开设的实验： 在基材（如硅片）上完成微波等离子体化学气相沉积法制备各种功能薄膜材料（如BN薄膜、金刚石薄膜、氮化碳薄膜等）、微波等离子体刻蚀加工实验、材料表面改性、微波等离子体清洗材料表面、微波等离子体化学合成等实验；适合大学物理、材料、化学等领域的学生实验及教师科学研究。培养学生掌握等离子体技术的应用。
本装置需另配光学显微镜、超声波清洗机、气源。随机配备基材、金刚石微粉。
微波等离子设备(PHONE5)技术特点： 
1 无内部电极，可避免放电污染，运行气压范围宽，能量转换效率高，可产生大范围的高密度等离子体。
2 设有垂直交叉的两个方向的透明观察窗，可直观观察等离子体的放电特性。
3 微波等离子体刻蚀精度达到亚微米级。制备各种功能薄膜材料的速率较快。 
微波等离子设备(PHONE5)技术参数及性能： 
1、微波源：功率0~800W连续可调输出；
2、真空系统：采用旋片真空泵，单相220V交流电源，极限真空6×10-1帕，抽速2升/秒；真空计采用数显压阻式真空计和热偶真空计联合作用，用于测量本底真空和工作时的工作气压。真空密封采用金属和橡胶密封；真空调节采用隔膜阀粗调和微调阀精细调节，调节快速方便、稳定性好。
3、供气系统：有两路独立供气气路，通过转子流量计控制流量。
4、自带冷却水循环系统形成冷却水。制冷系统可保证冷却水温度在30度以下，无水源要求。
5、微波传输及微波谐振腔：配有环行器、水负载和三螺钉阻抗调配器，可保证微波源的安全工作；配有微波反射测量系统，保证等离子体最大限度地吸收微波能。反应室工作压强：几帕～十千帕；反应室极限压强：6×10-1帕；真空反应室石英管腔体尺寸：Φ50mm；基片温度范围：200～1000℃；电磁波功率：0～800W；接地线＜3Ω。
微波等离子设备(PHONE5)