AE pinnacle plus+ 10k脉冲直流电源
产品描述
AE PINNACLE PLUS+ 10K脉冲直流电源
Pinnacle® Plus 系列Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，Pinnacle Plus 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异。优势:
●更高的沉积率与产品率
●薄膜均匀性和品质一流
●成弧造成的基材损坏减少
●成本更低
●系统整合容易
●极佳的工艺灵活性和宽容度
●重复性能
●在过度曲线上运行稳定
●吞吐量更高
●便于监控
●无与伦比的系统灵活性特点:
●一个紧凑型封装
●频率调节范围为 5-350kHz
●占空比高达45%
●电压范围宽——单输出宽阻抗范围
●大功率运行
●基材温度低
●单输出（5kW 和 10kW 型号）
●用于双阴极生产的双输出（双路5kW 型号）
●绝佳的弧控制
●反应性溅射闭环控制规格：
●输出功率：5KW单输出、5KW双输出、10KW单输出
●电压范围：325-650VDC，可选325-800VDC输出（宽Z）
●输出功率接头：五个终端、DIN压缩接头；最大电线尺寸：＃6 AWG
●输出接头：两个终端、多个触点、带有应力释放功能的可插入式接头或UHF接头
●最大电流：
15.4ADC；15.4ADC/输出；30.8ADC
●频率：5到350KHz，可变
●反向电压：工作电压的10%
●点火功能：最大1500VDC，正常1350VDC
●调节模式：功率、电压或电流
●交流线电压：200/208、400或480VAC
●电流：5KW：200/208VAC：标称值17A/Φ
400VAC：标称值8.5A/Φ
480VAC：标称值7.5A/Φ
5KW双输出/10KW单输出200/208VAC：标称值35A/Φ
400VAC：标称值17A/Φ
480VAC：标称值15A/Φ
●尺寸：133×483×639mm（高×宽×长）
产品图片
图 1
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