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    由国内外提供技术，国内生产的GMPOWER品牌射频自动匹配器，广泛适用于等离子刻蚀体、镀膜、清洗、等离子体增强、感应加热以及太阳能制造设备PECVD制造中，具有功率覆盖范围大（50W-5KW）、匹配时间短（≤3秒）、指示功能全、操作简单等优势，可通过数字接口实施计算机数据采集和控制，轻松实现时入射功率、反入射功率、直流偏压等的精确测量。该匹配器与电源完全独立，可配置AE、COMDEL、MKS等多家品牌的射频电源，最大限度节约射频系统成本.

• 产品描述
• *功率：1KW、2KW、5KW 频率：13.56MHz
• *系统采用高速配算法，即使系统处于高Q值也可在接近匹配点时减速，达到精确匹配效果
• *标准配置采用可调的L型匹配网络，满足绝大部分负载要求，也可根据客户负载阴抗设计配置匹配网络，实现自动匹配
• *配套公司标准电源可方便面板操作,手动/自动,预置位置,显示电容位置等

• 2KW无显示
  电源输出	AC180-240V 50Hz	冷却方式	强制风冷
  输出电流	0.5A	机箱尺寸	390mm(长）*260mm（宽）*132.5（高）
  射频功率范围	0-2KW	重量	10.5kg
  射频工作频率	13.56MHz
  射频输入接头	N型或UHF型
  射频输出接头	N型/UHF型/铜带型
  用户接口	DB15针接口，采用RS232、RS485通讯协议