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不锈钢气体过滤器
SS-A 系列
特点 Feature
超高纯直通型气体过滤器；
全316L 不锈钢结构；
应用于高温和动压；
结构紧凑，接口形式和尺寸多种可选；
流量范围：15 ~ 300 SLPM；
对大部分高纯半导体工艺气体具有优良的兼容性；
3纳米的粒子过滤能力确保了在最小压降下高流量；
5Ra电解抛光表面防止内污染；
去离子水清洗后，热氮气烘干，从而满足半导体工艺标准；
Class 100 洁净室制造、清洗和包装；
100% 氦泄漏测试。
SS-B 系列
特点 Feature
超高纯直通型气体过滤器；
全316L 不锈钢结构；
应用于高温；
结构紧凑，接口形式和尺寸多种可选；
对大部分高纯半导体工艺气体具有优良的兼容性；
3纳米的粒子过滤能力确保了在最小压降下高流量；
5Ra电解抛光表面防止内污染；
去离子水清洗后，热氮气烘干，从而满足半导体工艺标准；
Class 100 洁净室制造、清洗和包装；
100% 氦泄漏测试。
SS-D 系列
特点 Feature
超高纯直通型气体过滤器；
全316L 不锈钢结构；
应用于高温和动压；
结构紧凑，接口形式和尺寸多种可选；
对大部分高纯半导体工艺气体具有优良的兼容性；
3纳米的粒子过滤能力确保了在最小压降下高流量；
5Ra电解抛光表面防止内污染；
去离子水清洗后，热氮气烘干，从而满足半导体工艺标准；
Class 100 洁净室制造、清洗和包装；
100% 氦泄漏测试。
SS-H 系列
特点 Feature
超高纯直通高流量型气体过滤器；
全316L 不锈钢结构；
应用于高温和动压；
结构紧凑，接口形式和尺寸多种可选；
流量范围：100 ~ 800 SLPM；
对大部分高纯半导体工艺气体具有优良的兼容性；
3纳米的粒子过滤能力确保了在最小压降下高流量；
5Ra电解抛光表面防止内污染；
去离子水清洗后，热氮气烘干，从而满足半导体工艺标准；
Class 100 洁净室制造、清洗和包装；
100% 氦泄漏测试。