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MRC643真空磁控镀膜机 1
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MRC643真空磁控镀膜机

型号:MRC643
品牌:MRC
原产地:美国
类别:工业设备 / 电子电气产品制造设备
标签︰MRC643 , MRC943 , MRC603
单价: ¥1600000 / 件
最少订量:1 件
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深圳市昊光机电科技应用有限公司

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即时通讯:最后上线︰2020/08/29

产品描述

设备名称:MRC643真空溅射镀膜机

设备品牌:美国MRC

设备规格:MRC643

设备介绍:

MRC643采用独特的立式结构设计及特殊结构的阴极,可实现高溅射,膜厚均匀性和高靶材有效使用率,从研发应用到大批量生产,可沉积介质膜、金属膜等,主要用于集成电路制造、平板显示器、光刻掩膜版、通讯网络、化合物半导体器件、射频功率器件和光电子器件等。

本系统可分为预真空室、溅射区域、RF离子清洗,预真空室具有基片承载盘升降机,使得装卸基片和溅射工艺同时进行,从而实现“in-line”连续在线工作方式。12”x12”尺寸的基片承载盘,可放置不同尺寸及形状的基片。94” 基片/次,66” 基片/次,112” 基片/次。

 


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MRC643真空磁控镀膜机 1
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