产品描述
前载式双探头 SPS -540-G1+ 750-707-G1
产品简介:
INFICON前载式双探头提供验证的可靠性和持久性,与市场上任何探头探头相比,具有最好的热稳定性。双探头提供备份晶体,在真空室内需要第二个晶体的关键过程中是至关重要的。 产品详细 前载式双探头 的详细介绍
对于从侧面插入无足够空间的应用,前载式结构易于插入晶体架。采用机械装配代替焊接,必要时可现场方便地更换部件。探头可单个订购或订购探头/法兰组合,可选焊接的或直口接头装配的结构。
探头配置
前载式双探头的标准配置中水管与晶片平行。当第一晶体监测沉积速率时,气动晶体挡板保护备份晶体。挡板是下拉式结构,
便于更换晶体。为有效地消除RF干扰,暴露的晶体电极是全部接地的。
法兰
INFICON 提供两种法兰,1" 螺纹法兰或 2¾" (CF40) ConFlat® 法兰。 按用户要求可提供 KF40 法兰。
法兰连接
前载式双探头可订购与法兰的组合。探头/ 法兰连接可采用直口接头或焊接 ( 当与 1" 螺纹法兰组合时) 。如需焊接连接,必须在订购前填写INFICON 提供的一个探头长度规格表。直口接头易调整,无钎焊或焊接的要求。法兰可沿着管长移动,对于 "E" 长度探头, 在真空系统内的长度可在 20.3 厘米至 71.1 厘米 (8"- 28") 的范围内调整,对于 "G" 长度探头,一旦确定所需长度,直口接头可用手指拧紧管密封件。
优 点
■ 双晶体
■ 晶体挡板
■ 前载式晶体支架
■ 易安装
■ 可提供:
- 2.54 厘米 (1 " ) 螺纹法兰
- CF40 法兰
■ 如订购直口接头的, 可调节长度
■ 如订购直口接头的, 无需钎焊或焊接至法兰
■ 可按客户要求提供特定长度焊接的探头 / 法兰组合.
产品图片
图 1
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