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连续性ITO导电玻璃磁控溅射生产线

型号:SP-8000
品牌:湘潭宏锋机械
原产地:中国
类别:工业设备 / 通用机械 / 泵及真空设备
标签︰ITO玻璃镀膜机 , ITO玻璃生产线 , ITO玻璃真空生产线
单价: ¥10000000 / 件
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湘潭市宏锋机械设备制造厂

免费会员湖南省湘潭市
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上线︰2020/11/24

产品描述

连续性ITO导电玻璃磁控溅射生产线

1) 真空室体材料采用 SUS304 ,真空室内壁进行抛光处理,外壁采用抛光后喷珠处理。
2) 真空室之间采用独立门阀—插板阀隔开,可以实现有效隔断,稳定工艺气体。目前我们公司采用插板阀设计,它比目前国内通用的翻板阀密封效果更好,更耐用。
3) 传动采用磁导向,保障传动的稳定性。整条生产线的各段速度采用变频调速电机驱动,运行速度可调节。
4) 电气控制系统:触摸屏与 P L C 自动控制,人机对话方式来实现系统的数据显示、操作与控制技术参数
1) 极限真空压力:6× 1 0E-4 Pa
2) 平均生产周期:根据产品确定
3) 基片架尺寸:可以根据要求定做
4) 膜层均匀性: ± 3% 的移动磁场技术大大提高了靶材利用率
分段式加热设计,有利于工艺优化。 

 


产品图片

连续性ITO导电玻璃磁控溅射生产线 1
图 1
连续性ITO导电玻璃磁控溅射生产线 2
图 2
连续性ITO导电玻璃磁控溅射生产线 3
图 3
连续性ITO导电玻璃磁控溅射生产线 4
图 4
连续性ITO导电玻璃磁控溅射生产线 5
图 5

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湘潭市宏锋机械设备制造厂

中国湖南省湘潭市九华工业园伏林东路6号

电话︰
+86-731-58282058
传真︰
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联系人︰
夏夏 (外贸部经理)
手机︰
13469457946

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