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青岛福润德低价促销多功能lpcvd设备frd-005

型号:frd-005
品牌:福润德
原产地:中国
类别:工业设备 / 通用机械 / 电热设备
标签︰lpcvd设备 , lpcvd专用设备 , lpcvd专用炉
单价: ¥80000 / 台
最少订量:1 台
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详细信息

产品描述

 满足半导体集成电路,电力电子器件,光电子等行业用于在硅片上淀积sio2、磷硅玻璃、硼硅玻璃、非晶硅及难溶金属硅化物等多种薄膜工艺。

技术参数:

熔炉管: 2-Tube (LPCVD工艺: 1tube/  熔炉工艺:1tube)
晶圆大小: 4英寸或6英寸
装载晶圆数: 1--10
基板加热用加热器: 垂直型1-Zone加热器
加热器表面温度: 1250C
最低真空度 < 0.005Torr
真空泵: 机械泵(选项:罗茨泵 或者分子涡沦泵+机械泵)
工艺控制方式: 根据程序及顺序的自动方式
系统规格: 1660mm(W) X 600mm(D) X 1830mm(H)

 


产品图片

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青岛福润德微电子设备有限公司

青岛市城阳区北万工业园6号

电话︰
86-532-68017157
传真︰
86-0532-68017157
联系人︰
颜廷福 (销售经理)
手机︰
13658669338

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