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三氟化氮 1
  • 三氟化氮 1

三氟化氮

型号:-
品牌:东祥
原产地:中国
类别:化工 / 无机原料 / 单质
标签︰三氟化氮公司 , 三氟化氮 , 生产三氟化氮
单价: ¥450 / 公斤
最少订量:50 公斤
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天津市东祥特种气体有限责任公司

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产品描述

产品名称:三氟化氮
CAS号:7783-54-2
分子式:NF3

应用

  三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,对硅和氮化硅蚀刻,采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性,而且对表面无污染,尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中,三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性,在被蚀刻物表面不留任何残留物,同时也是非常良好的清洗剂。

包装规格
  Cylinder(47L)、Bundle(16×47L)、Bundle(25×47L)、Y-Cylinder(470L)、ISO等
钢瓶容积 钢瓶型号 阀门 钢瓶压力 气体质量 危规号 UN编号 包装分类 包装标志
47L、43.3L、40L、8L DOT-3AA、GB5099 CGA330、CGA640 9.0-13.0MPa 22kg、20kg、3.4kg 23016 2451 6

主要生产经营
高纯氦气、液氦、气球氦气;
硫化氢、环氧乙烷消毒气、氘气;
高纯气体、混合气体、工业气体;
无缝钢瓶检验与服务;气体管道工程等。 


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三氟化氮 1
图 1

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手机︰
18302202818

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