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Piezo Motor压电陶瓷电机

Pizeo LEGS LINER 414212（直线式压电陶瓷电机）

Pizeo LEGS R rotative 428252(旋转式压电陶瓷电机)

■   线性压电陶瓷电机

●    Pizeo Wave Linear 0.1N

电压：6-10V DC

驱动频率：91-93KHz

速度范围：50-150mm/s

推力：0.1-0.7N

●    Pizeo LEGS Linear 6N (真空型可选)

电压：48V DC

最大行程：80mm

速度范围：0-15mm/s

分辨率：7N

●    Pizeo LEGS Linear Twin 20N (真空型可选)

电压：48V DC

最大行程：80mm

速度范围：0-10mm/s

分辨率：20N 

●    Pizeo LEGS Linear Twin-C 300N (真空型可选)

电压：65V DC

最大行程：20mm

最大速度：0.3mm/s

分辨率：300N

尺寸：80*50*50mm

●    Pizeo LEGS Linear Twin-C 450N (真空型可选)

电压：65V DC

最大行程：20mm

最大速度：0.3mm/s

分辨率：450N

尺寸：98*50*50mm

■   旋转式压电陶瓷电机

●    Pizeo LEGS Rotary 50mNm (无磁,真空)

角度范围：360°

速度范围：0-20RPM

分辨率：< 1urad

堵转力矩：>50mNm

保持力矩：> 55mNm

真空度：10^-7 torr

最大电压：48V DC

尺寸：Ø23 x 34.1

 

●    Pizeo LEGS Rotary 80mNm (无磁,真空)

角度范围：360°

速度范围：0-20RPM

分辨率：< 1urad

堵转力矩：>80mNm

保持力矩：> 90mNm

真空度：10^-7 torr

最大电压：48V DC

尺寸：Ø23 x 34.1

 

压电陶瓷平台（转角，位移）

■   角度压电陶瓷电机平台

角度范围：+/- 10度

最小半径：86mm

速度范围： 0-7°/S

单位脉冲分辨率：0.01-60urad

分辨率：< 10 nrad

负载范围：0-8N

保持力：22N

最大电压：48V

尺寸：60*20.7*20.4mm

■   直线压电陶瓷电机平台

行程：29mm

速度范围： 0-10mm/S

单位脉冲分辨率：0.001-5um

分辨率：1nm

 

 

压电陶瓷平台

 

通过纳米运动的压电陶瓷电机配合精密导轨、高精度光栅，搭配成一维、二维以及三维的超精密运动平台。

应用于光学、测量、加工、半导体等科研、生产、军工等领域.

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