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MEMS器件级真空封装薄膜吸气剂

型号:吸气剂非蒸散型吸气剂
品牌:ITH
原产地:中国
类别:电子、电力 / 其它电力、电子
标签︰MEMS薄膜吸气剂 , 压力传感器吸气剂 , MEMS薄膜吸气剂
单价: ¥0.01 / 件
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益东惠为MEMS的真空封装封装制定多个薄膜吸气剂解决方案,可以实现在150℃~750℃的宽范围温度激活,适应不同种真空封装的温度曲线,同时可以在金属盖板、陶瓷盖板、硅片等材料上制造吸气剂涂层,涂层的厚度可以控制在1~10μm,还可以根据实际的工作需求涂覆上50~1000μm的厚膜。MEMS器件中薄膜吸气剂的引入,能够极大的吸收MEMS器件工作器件的漏放气、提高产品的真空度,保证了MEMS系统的可靠性和寿命,同时我们提供MEMS封装的薄膜型吸气剂、厚膜吸气剂、微型的热子型吸气剂,让不同的吸气剂解决方案融入复杂的真空结构和真空环境中。


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MEMS器件级真空封装薄膜吸气剂 1
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MEMS器件级真空封装薄膜吸气剂 3
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