型号: | YHKSL1300 |
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品牌: | 青岛微弘 |
原产地: | 中国 |
类别: | 工业设备 / 电子电气产品制造设备 |
标签︰ | 氧化扩散炉 , 氧化炉 , 扩散氧化炉 |
单价: |
¥147000
/ 台
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最少订量: | 1 台 |
最后上线︰2018/05/17 |
氧化扩散炉
氧化扩散炉应用于半导体器件、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池及大规模集成电路制造等领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,可用于2-8英寸工艺尺寸。
■氧化扩散炉控制系统特点
◆ 可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步
◆ 工艺曲线的自动运行控制功能
◆ 氧化扩散炉自动运行中可暂停/继续运行功能
◆ 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能
◆ 可存储多组PID参数供系统运行调用功能
◆ 氧化扩散炉PID参数自整定功能
◆ 具有自主知识产权的软件系统,良好的人机界面
◆ 氧化扩散炉系统故障自诊功能
◆ 工艺气体的程序控制功能
◆ 停电后断点继续运行功能等
◆ 关键件全部具有高可靠性
◆ 氧化扩散炉具有历史记录功能
◆ 具有多种故障报警及各种安全互锁保护功能
◆ 氧化扩散炉具有多点温度补偿
★ 可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能
■ 氧化扩散炉主要技术指标
◆ 可配工艺管外径: 2~8英寸
◆ 可配工艺管数量: 1~4管/台
◆ 恒温区长度及精度: 300~1250mm 800~1300℃±0.5℃
◆ 氧化扩散炉工作温度范围: 400~1300℃
◆ 单点温度稳定性: 800~1300℃ ±0.5℃/24h
◆ 氧化扩散炉最大可控升温速度: 15℃/min
◆ 最大降温速度: 5℃/min
★ 可为用户量身定制非标准氧化扩散炉
付款方式︰ | 议定 |
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