型号: | HJL1000 |
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品牌: | 青岛微弘 |
原产地: | 中国 |
类别: | 工业设备 / 电子电气产品制造设备 |
标签︰ | led合金炉 , led退火炉 , led真空退火炉 |
单价: |
¥168000
/ 台
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最少订量: | 1 台 |
最后上线︰2018/05/17 |
LED合金/退火炉
Led合金退火炉应用于半导体器件、分立器件、光电子器件、电力电子器件、大规模集成电路制造等领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,可用于2-8英寸工艺尺寸。
■ led合金退火炉主要功能如下
◆ 全中文操作界面,可编辑参数,操作简便
◆ led合金退火炉可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步
◆ 工艺曲线的自动运行控制功能
◆ led合金退火炉自动运行中可暂停/继续运行功能
◆ 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能
◆ 智能升降温斜率控制功能
◆ led合金退火炉PID参数自整定功能
◆ 可存储多组PID参数供系统运行调用功能
◆ led合金退火炉系统故障的检测与报警功能
◆ 系统误差修正(单点或多点动态修正功能)
◆ 智能悬臂推拉舟控制功能
◆ 工艺气体的程序控制功能(电磁阀/质量流量控制器)
◆ 停电后断点继续运行功能等等
★ led合金退火炉可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。
■ led合金退火炉主要技术参数
◆ 可配工艺管数量:1~4管/台
◆ led合金退火炉工作温度范围:200~1000℃
◆ 恒温区长度及精度:300~800mm 800~1000℃±0.5℃
◆ led合金退火炉最大可控升温速度:15℃min;
◆ 最大降温速度:15℃min
◆ 单点温度稳定性:800~1000℃±0.5℃/24h
★ 可为用户量身定制led合金退火炉
付款方式︰ | 议定 |
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