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扩散炉炉体加热器

扩散炉炉体加热器主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、美国TYAN、美国THERMCO、荷兰ASM、英国BTU、日本TEL等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外先进的加工工艺，选用进口材料，制作而成。可用于2-8英寸硅片的扩散工艺。

■扩散炉炉体加热器材料:

★   炉丝：Φ6～Φ10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。

★   绝缘子:采用99瓷制作，碳化硅管用高脚，石英管用矮脚。

★   保温棉: 采用英国摩根公司生产的高温保温材料。

★   外壳: 304不锈钢板卷制而成,连接处采用不锈钢拉铆钉连接。

★   热偶座：进口弹簧卡状固定座。

★   把口环：陶瓷纤维把口环，既保温，又有一定机械强度。

■扩散炉炉体加热器参数:

★   工作温度：   ≤1300℃

★    恒温区长度： 500mm-1000mm

★    炉体内径：   Φ90～Φ360 mm（3～12英寸）

★    使用寿命：   规范使用寿命可达18个月以上（1200℃）

★    替代进口：   全方位配套

★    根据客户要求，加工定制各种扩散炉炉体、氧化炉炉体、LPCVD设备炉体、PECVD设备炉体、真空炉炉体及各种异型炉体加热器。