| 型号： | CL |
|---|---|
| 品牌： | 晨立 |
| 原产地： | 中国 |
| 类别： | 工业设备 / 电子电气产品制造设备 |
| 标签︰ | 扩散炉 , 立式扩散炉 , 退火炉 |
| 单价： |
¥190000
/ 台
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| 最少订量： | 1 台 |
| 最后上线︰2024/12/07 |
用途：
该设备用于半导体生产工艺过程中的高温扩散，烧结，退火等工艺。该系统具有精确仪表控制系统，具有高密封性和抗腐蚀性的高纯气路系统。该设备主要适合于8英寸工艺硅片的处理。
结构形式：立式
使用温度：1200℃
恒温区：750mm
控温精度：±2℃
