型号: | frd-05 |
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品牌: | 福润德 |
原产地: | 中国 |
类别: | 工业设备 / 电子电气产品制造设备 |
标签︰ | 炉体 , 扩散炉炉体 |
单价: |
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最少订量: | 1 台 |
即时通讯: | 最后上线︰2023/01/07 |
HTML代碼︰ | 加热炉体 可完全代替进口炉体,优质加热炉丝,进口保温材料,采用国外先进加工工艺,炉体可长期使用在高温下,处理12英寸以下硅片,工作温度2000℃-1286℃。 设备特点: 可保存多条工艺曲线每条曲线可设置多步 工艺曲线的自动运行控制功能 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能 自动运行中可暂停/继续运行功能 可存储多组PID参数供系统运行调用功能 PID参数自整定功能 技术指标: 可配置工艺管外径2~8英寸 可配置工艺管数量:1~4管/台 工作温度范围:400~1300℃ 恒温区长度及精度:300~1250mm 800~1300℃±0.5℃ 单点温度稳定性:800~1300℃±0.5℃/24h |
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