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~一、动态气体校准仪工作原理：

动态气体校准仪主要由质量流量控制器、臭氧发生器、电源、管阀件、控制板及软件组成。
质量流量控制器用于精确控制零气和标气流量，零气控制采用大流量控制器（10slpm），标气采用小流量控制器（100sccm）。气体输出后通过混合室进行混合，达到所设定控制的浓度
内置的臭氧发生器是由零气经紫外线照射而生成的，通过改变紫外线光强或零气的流量来控制臭氧发生的浓度主要由质量流量控制器、臭氧发生器、电源、管阀件、控制板及软件组成。

二、功能特性：
•技术成熟可靠
•核心部件均为原装进口
•配比精度高，响应时间段
•模块化设计
•HMI触摸屏，操作简便
•内置MFC标定校准程序

三、技术特性：
•质量流量计准确度：＜1%F.S
•质量流量计重复性：＜0.25%F.S
•零气流量： 10sl/min
•标气流量： 100sml/min
•标气入口： 3通道
•臭氧发生器输出浓度： 5ppm/1slpm
•操作温度： 0-45摄氏度
•最大稀释比： 1000:1
•响应时间： 60s
•电源： 220VAC@50Hz
•尺寸： 440mm（宽） *178mm（高*420mm（深）（参考）
•标准配置： 主机一套、电源线一根、说明书一份