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Q150T PLUS系列全自动高真空镀膜仪

英国QUORUM出品的Q150T Plus是一款优化设计的带涡轮分子泵抽真空的镀膜设备，真空度可达5x10-5mbar。可以溅射具有超细成膜颗粒的易氧化金属，适用于高分辨率成像。同样地，低散射可得到均匀而致密的无定形碳膜。

Q150T E和ES PLUS使用碳棒头作为标准配置；Q150T S和ES PLUS溅射贵金属和易氧化金属。

推荐放大倍数：

? Au、Au/Pd可达5万倍

? Pt可达10万倍

? Cr、Ir可达10万倍以上

非常适合薄膜应用，例如镀ITO、W、Al、Zn等。

推荐应用：

? 扫描电镜高分辨率放大应用

? FIB中镀保护性铂层

? 腐蚀、摩擦和磨损保护层的研发

? 医疗设备上的保护层

? BSE成像

? EDX, WDS, EBSD分析

? 蒸镀碳覆型膜

 

Q150T Plus 功能特点：

1）全新升级的用户界面：

? 电容式触摸屏，灵敏度高，更易触控使用

? 用户界面软件全面更新，使用现代智能技术界面

? 全面的文字帮助页面

? USB接口可轻松进行软件更新和数据备份

? log文件格式为.csv，内含日期、时间和工作参数，导出后可在Excel或类似软件中分析

? 16GB的闪存可储存超过1000条镀膜方案

? 双核ARM处理器，可实现快速响应的显示

2）允许多用户输入和储存镀膜方案，并根据最近的使用来排列每个用户的方案。

3）智能逻辑系统自动识别插入头，并显示相应的操作设置和控制。

4）系统提示用户确认靶材，然后自动为该材料选择合适参数。

5）直观方便的软件，即使新手也能快速输入和存储其处理参数，创建自己的镀膜程序，且系统已存储典型的溅射和镀碳程序可供直接调用。

6）如果软件检测到在一段时间内无法达到设定真空度，系统会终止程序，以防真空泵过热。

7）可互换的插入头：允许用户将系统配置为溅射镀膜仪、蒸镀仪或辉光放电系统 - 所有这些系统都可集成在一个设备中，节省空间。可选碳绳蒸发。可自动检测识别插入头类型。

8）可拆卸腔室，设有防爆罩：可拆卸玻璃腔室，易清洁底座和顶板。如需要，用户可快速更换腔室以避免敏感样品交叉污染。高腔室选项可用于碳蒸发，避免样品过热；提高溅射的均匀性和承载较高尺寸的样品。

9）多种样品台可选：Q150T Plus具有可满足大多数要求的样品台。所有样品台都是插入式（无螺丝），易于更换。

10）独特的“可控斜坡碳棒蒸发”、“磁控冷溅射”和“脉冲清洁用于溅射Al”等先进技术。

11）安全性符合行业CE标准。

 

Q150T Plus具有三种型号：

1）Q150T S Plus全自动溅射镀膜仪，可溅射易氧化金属及贵金属。可溅射的靶材包括铬、铱、钨、ITO、铝和其它靶材。

2）Q150T E Plus全自动蒸发镀碳仪（碳棒/碳绳），适合SEM领域的EDS和WDS应用。可选金属蒸发/光阑清洁头。

3）Q150T ES Plus是集成了离子溅射和热蒸镀两种方式的一体化高真空镀膜系统。镀膜头可在数秒内更换，可选金属蒸发/光阑清洁头。

Q150T Plus是Quorum Technologies出品的国际认可的Q系列镀膜仪的一部分，全球数千家客户使用此类镀膜仪。Q系列旨在为SEM、TEM和薄膜应用提供高质量的镀膜解决方案，Q系列功能多样、价格合理且易于使用。

 

主要操作：

1）离子溅射：溅射电流可设范围宽，至预设厚度（需选用FTM）终止或定时终止。可设溅射时间宽，无需破真空，自动内置冷却占空比。

2）蒸镀：可用碳棒（可选碳绳）蒸镀碳膜；选用钨篮或钼舟进行金属热蒸发；选用标准钼舟清洁TEM光阑

3）可视化状态指示

大而多色的LED指示灯，使用户在一定距离就可轻松识别过程状态。指示灯可显示以下状态：

◆ 初始化中 ◆ 程序运行

◆ 空闲状态 ◆ 正在镀膜

◆ 程序完成 ◆ 故障停机状态

程序完成后音频声音提示。

 

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