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明电舍(MEIDENSHA)真空电容器 明电舍MEIDEN可变真空电容器 明电舍MEIDEN固定真空电容器

   

明电舍通过40年对真空断路器的开发制造，积蓄了该领域的丰富技术经验，成功开发制造出高性能,高信赖的真空电容器。真空机器的制造，通常有两种方式1）由真空泵不停排气方式,2)制造中的真空封闭方式。本公司的真空电容器，采用了真空封闭方式进行制造，并且采用了长时间保持真空状态的构造。其产品用于：液晶屏面板制造装置领域，太阳能电池板制造领域，医疗?测量机器领域，半导体制造装置领域，广播电视播放领域，科学研究领域等官方应用于阻抗箱，匹配箱 阻抗匹配RF系统 matching box上使用

 

真空电容器MEIVAC的特征是

高耐电压 真空的耐电压高，易于实现小型化；

低损失 可以适用于高RF频率；

大电流通电 无整流子结构形式，适合大电流；

高信赖性 具有自我恢复性，可以承受瞬间过电压；

 

SCV-514M  5KV-1400PF

SCV-152.5

SCV-151

SCV-204

SVC-514M

SCV-520M 

SCV-205G

SCV-155M

SCF-200.5C

SCF-53Z

SCF-201C

SCF-152Z

BDS5-3040

SCF-151Z

SCV-7.55

SCF-151.5Z

SCV-520M

SCF-55Z

SCV-514M

KIU-KR DC110V 14VA

NTG-81 0.2-1.0A 220V 50HZ

KI0-LGR 3A DC110V 0.5-2.0A

KI0-C6R DC110V 5A 50HZ 18VA

NTG-91 0.1-1.0A 220V 50HZ

SCV-152.5 

SCV-250.8D

SCV-202D

SCV-104G

SCV-510M

SCV-1014G

SCV-151H55UW

SCV415H65UW

SCV-55FH55UW

SCV-85H55UW-NP

SCV-515G

SCV-152.5GT

SCV-152.5H55UW-C

SCV-125H65UW-C

SCV-415H65UW-C

SCV-85H55UW-C

SCV-510H55UW-C

SCV-415H55UW-C

SCF-200.5G

SCF-150.75Z

SCF-150.5Z

SCF-153.5H52WR

 

规格

形式 SCV-155M SCV-510M SCV-514M

高峰试验电压 [kVp] 15 5 5

静电容量[pF] 50-500 50-1000 90-1400

RF动作电压 [kVp] 9 3 3

直线可变性 (pF/N) 42±4

(65pF 以上) 88±6

(80pF 以上) 115±8

(150pF 以上)

转速（回） 12±1 12±1 12±1

最大容许电流 [Arms]

(at 13.56MHz) 100 100 100

回转转矩（N?cm）

(kgf?cm) 24.5

2.5 24.5

2.5 24.5

2.5

重量（kg）

尺寸（长度×直径） (mm)

1.3

140×φ73 1.35

140×φ73 1.4

140×φ73

 

真空电容器 MEIVAC

MEIVAC真空电容器系列，是基于明电舍的真空技术而开发的一种真空电容器。

真空电容器有以下用途

1 作为半导体薄膜制造设备的阻抗整合器

2 通信器材的发报线路，同调回路

3 诱电加热设备的共振回路

4 各种高频率电源的电压增幅回路

近年来，由于半导体产业的发展，真空电容器的用途扩大至CVD，蚀刻，滴溅设备等半导体薄膜制造设备阻抗

整合应用领域。

 

真空可变电容器

真空可变电容器是通过移动真空容器内的电极而实现静电容量的变化的电容器。

除了了装置115MM标准的型号，还搭载了耐高压特殊电极的黄金型号，同时通过风箱构造以及增强材质的大电

流低扭矩型（H系列）。

 

标准型特点 

1 寿命长

  采用高强度的不锈钢风箱，实现可变范围二分之一以下的风箱寿命达100万循环。同时通过高强度特殊螺钉

构造，在可变范围二分之一的情况下实现总回转数1000万以上的长寿命。

2微型化

  陶瓷中心栓与外围共振器一体化从而是微型化得以实现。

  统一设为全长140MM（装置标准115MM），容易实现机器安装时的可更换性。 

 

强电流低扭矩型特点 

    强电流通电

    风扇采用铜合金新材料，可以实现强电流通电。（强电流规格：空冷110Arms、130Arms、150Arms、

160Arms)

    低扭矩

    H系列内部构造得到改良，小于18N.cm的低扭矩使得驱动马达的微型化得以实现。

    长寿命

    采用高强度不锈钢风箱，通过可变范围二分之一以下的风箱寿命100万回转，以及高强度特殊螺钉构造，

能够实现可变范围二分之一的总回转达到1500万以上的超长寿命。

 

真空固定电容器

 

真空固定电容器的诱导体为真空，使用损耗较低的陶瓷作为绝缘体，极大的抑制了损耗系数。从而使电容器即

实现了微型化，又能耐高压和承受强大电流。

特点

  耐高压

  由于绝缘体是真空，绝缘体能承受很高的电压，即使在高电压回路中也安然无恙。

  低损耗

  真空诱电体能极大降低损耗。诱电体的损害只出现在构成真空容器的电容器两端的绝缘陶瓷以及导航用陶瓷

。

  微型化

  通过采用耐高压的特殊电极实现微型化。

型号 峰值试验电压 RF动作电压 静电容量 最大许可容量电容 回转行程 回转数 尺寸

Type description Peak test Peak working Capacitance Max. RF current Max.torque Turns Dimensions

　 voltage voltage (Min.-Max.) (13.56MHz) 　 　 (Length×Diameter)

　 (50/60Hz) (13.56MHz) 　 空冷/Air cooled 　 　 　

SCV-55 5kVp 3kVp 30-500pF 100Arms 24.5N?cm 12回转 L140×φ60mm

SCV-7.55 7.5kVp 4.5kVp 30-500pF

SCV-151 15kVp 9kVp 10-100pF

SCV-152 12-200pF

SCV-152.5 30-250pF

SCV-510M 5kVp 3kVp 50-1000pF L140×φ73mm

SCV-514M 90-1400pF

SCV-155M 15kVp 9kVp 50-500pF

SCV-520M 5kVp 3kVp 85-2000pF L140×φ89mm

SCV-1010 10kVp 6kVp 80-1000pF

SCV-204 20kVp 12kVp 80-450pF

SCV-155G 15kVp 9kVp 25-500pF 90Arms 24.5N?cm 12回转 L140×φ62mm

SCV-251G 25kVp 15kVp 10-100pF

SCV-252G 12-200pF

SCV-252.5G 25-250pF

SCV-1010G 10kVp 6kVp 50-1000pF L140×φ73mm

SCV-1014G 90-1400pF

SCV-205G 20kVp 12kVp 50-500pF

SCV-1020G 10kVp 6kVp 85-2000pF L140×φ89mm

SCV-1510G 15kVp 9kVp 80-1000pF

SCV-250.3G 25kVp 15kVp 6-30pF 27Arms 19.6N?cm 5.5回转 L100×φ60mm

SCV-250.8G 10-80pF 72Arms

SCV-300.2G 30kVp 18kVp 6-20pF 21Arms

SCV-104G 10kVp 6kVp 60-450pF 90Arms L100×φ63mm

SCV-201.7G 20kVp 12kVp 45-170pF

SCV-7.55H65 7.5kVp 4.5kVp 20-500pF 110Arms 18N?cm 14回转 L154×φ65mm

SCV-151H65 15kVp 9kVp 20-100pF

SCV-152H65 20-200pF

SCV-152.5H65 20-250pF

SCV-510H82 5kVp 3kVp 25-1000pF 130Arms 18N?cm 14回转 L154×φ82mm

SCV-105H82 10kVp 6kVp 25-500pF

SCV-154H82 15kVp 9kVp 25-400pF

SCV-202H82 20kVp 12kVp 25-200pF

SCV-202.2H84 20kVp 12kVp 15-220pF 130Arms 18N?cm 10.5回转 L125×φ84mm

SCV-250.8H84 25kVp 15kVp 12-80pF

SCV-514H94 5kVp 3kVp 30-1400pF 150Arms 18N?cm 14回转 L154×φ94mm

SCV-107H94 10kVp 6kVp 30-700pF

SCV-155H94 15kVp 9kVp 30-500pF

SCV-202.5H94 20kVp 12kVp 30-250pF

SCV-520H110 5kVp 3kVp 35-2000pF 160Arms 18N?cm 14回转 L154×φ110mm

SCV-1010H110 10kVp 6kVp 35-1000pF

SCV-205H110 20kVp 12kVp 35-500pF

SCV-315H65G 3kVp 1.8kVp 20-1500pF 100Arms 18N?cm 14回转 L154×φ65mm

SCV-105H65G 10kVp 6kVp 20-500pF

SCV-201H65G 20kVp 12kVp 20-100pF

SCV-202H65G 20-200pF

SCV-202.5H65G 20-250pF

SCV-1010H82G 10kVp 6kVp 25-1000pF 120Arms 18N?cm 14回转 L154×φ82mm

SCV-155H82G 15kVp 9kVp 25-500pF

SCV-204H82G 20kVp 12kVp 25-400pF

SCV-252H82G 25kVp 15kVp 25-200pF

SCV-300.2H84G 30kVp 18kVp 10-20pF 120Arms 18N?cm 10.5回转 L125×φ84mm

SCV-1014H94G 10kVp 6kVp 30-1400pF 140Arms 18N?cm 14回转 L154×φ94mm

SCV-157H94G 15kVp 9kVp 30-700pF

SCV-205H94G 20kVp 12kVp 30-500pF

SCV-252.5H94G 25kVp 15kVp 30-250pF

SCV-1020H110G 10kVp 6kVp 35-2000pF 150Arms 18N?cm 14回转 L154×φ1

SCV-1510H110G 15kVp 9kVp 35-1000pF

SCV-255H110G 25kVp 15kVp 35-500pF

 

型号列举

MEIDENSHA SCV-150.6HA55UW-C

MEIDENSHA SCV-150.75HA55UW-C

MEIDENSHA SCV-200.5H55UW-C

MEIDENSHA SCV-151H55UW-C

MEIDENSHA SCV-201H55UW-C

MEIDENSHA SCV-151.5FH55UW-C

MEIDENSHA SCV-152.5H55UW-※2

MEIDENSHA SCV-83.5FH55UW-C

MEIDENSHA SCV-55FH55UW-C

MEIDENSHA SCV-85H55UW-C 

MEIDENSHA SCV-310H55UW-C※2 

MEIDENSHA SCV-510H55UW-C

MEIDENSHA SCV-415H55UW-C

MEIDENSHA SCV-125H65UW-C※2※3

MEIDENSHA SCV-155H65UW-C

MEIDENSHA SCV-810H65UW-C

MEIDENSHA SCV-1010H65UW-C

MEIDENSHA SCV-415H65UW-C※2※3

MEIDENSHA SCV-515H65UW-C

MEIDENSHA VP110 

MEIDENSHA VP150　 

MEIDENSHA UW70 

MEIDENSHA SCV-320H65UW-C

MEIDENSHA SCV-715H70UW-C

MEIDENSHA FS36S FS36 

MEIDENSHA FS43 

MEIDENSHA FC52 

MEIDENSHA FC52A FC62 

MEIDENSHA FH48C FH65C 

MEIDENSHA FH52WR 

MEIDENSHA FHA52WR 

MEIDENSHA VP94L 

MEIDENSHA SCV-251P94L

MEIDENSHA SCV-202.2P94L

MEIDENSHA SCV-153.5P94L

MEIDENSHA SCV-350.3P110

MEIDENSHA SCV-351P110

MEIDENSHA SCV-201.5P110C

MEIDENSHA SCV-251.5P110C

MEIDENSHA VP110 

MEIDENSHA SCV-302P110

MEIDENSHA SCV-202.5P110C

MEIDENSHA SCV-252.5P110C

MEIDENSHA SCV-253.5P110

MEIDENSHA SCV-205P110

MEIDENSHA VP65 

MEIDENSHA SCV-201P65

MEIDENSHA SCV-152P65C

MEIDENSHA SCV-202P65

MEIDENSHA SCV-152.5P65

MEIDENSHA SCV-202.5P65

MEIDENSHA SCV-104P65FW

MEIDENSHA SCV-124H65FW

MEIDENSHA SCV-7.55P65FW

MEIDENSHA SCV-105P65FW

MEIDENSHA SCV-125P65DW

MEIDENSHA SCV-255P110

MEIDENSHA SCV-158P110FW 15 

MEIDENSHA SCV-1510P110W 40 

MEIDENSHA SCV-1051P110W 40 

MEIDENSHA SCV-520P110W 40 

MEIDENSHA SCV-820P110W 40 

MEIDENSHA SCV-325P110FW 15 

MEIDENSHA SCV-340P110W 45 

MEIDENSHA VP82 

MEIDENSHA SCV-155P65DW

MEIDENSHA SCV-310P65FW

MEIDENSHA SCV-410P65FW

MEIDENSHA SCV-510P65W

MEIDENSHA SCV-810P65W

MEIDENSHA SCV-315P65DW

MEIDENSHA SCV-415P65DW

MEIDENSHA SCV-202P82

MEIDENSHA SCV-155P82W

MEIDENSHA SCV-1010P82W

MEIDENSHA SCV-515P82W

MEIDENSHA SCV-520P82W

MEIDENSHA SCV-200.5P82L

MEIDENSHA SCV-250.8P82L

MEIDENSHA SCV-201P82L

MEIDENSHA SCV-251P82L

MEIDENSHA SCV-201.5P82L

MEIDENSHA SCV-202P82L

MEIDENSHA SCV-202.2P82L

MEIDENSHA SCV-103.5P82LW

MEIDENSHA SCV-84P82LW

MEIDENSHA VP150 

MEIDENSHA SCV-405P150

MEIDENSHA SCV-1525P150W

MEIDENSHA SCV-560P150W

MEIDENSHA SCV-202.5P94 25 

MEIDENSHA "SCV-155P94

SCV-515P94 ""25"

MEIDENSHA SCV-520P94W 35 

MEIDENSHA SCV-523P94W 45 

MEIDENSHA SCV-150.5

MEIDENSHA SCV-151

MEIDENSHA SCV-152

MEIDENSHA SCV-155G

MEIDENSHA SCV-152.5

MEIDENSHA type2 

MEIDENSHA SCV-7.55

MEIDENSHA SCV-55

MEIDENSHA SCV-155M

MEIDENSHA SCV-205G

MEIDENSHA SCV-510M

MEIDENSHA SCV-1010G

MEIDENSHA SCV-514M

MEIDENSHA SCV-1014G

MEIDENSHA SCV-204

MEIDENSHA SCV-1010

MEIDENSHA SCV-520M

MEIDENSHA SCV-201.7G

MEIDENSHA SCV-104G

MEIDENSHA SCV-300.2G

MEIDENSHA SCV-250.3G

MEIDENSHA SCV-250.8G

MEIDENSHA SCV-151GT

MEIDENSHA SCV-152.5GT

MEIDENSHA SCV-155GT

MEIDENSHA SCV-510GT

MEIDENSHA SCV-515GT

MEIDENSHA SCV-150.75GTB

MEIDENSHA SCV-53GTB

MEIDENSHA SCF-300.25H48C

MEIDENSHA SCF-300.5H48C

MEIDENSHA SCF-300.75H48C

MEIDENSHA SCF-301H48C

MEIDENSHA SCF-351H48C

MEIDENSHA SCF-251.25H48C

MEIDENSHA SCF-251.5H48C

MEIDENSHA FHA52 

MEIDENSHA SCV-151HA52WR

MEIDENSHA SCV-151.5HA52WR

MEIDENSHA SCV-152HA52WR

MEIDENSHA SCV-153HA52WR

MEIDENSHA SCV-125HA52WR

MEIDENSHA SCV-510HA52WR

MEIDENSHA SCF-251.75H48C

MEIDENSHA SCF-252H48C

MEIDENSHA SCF-151H52WR

MEIDENSHA SCF-201H52WR 

MEIDENSHA SCF-151.5H52WR 

MEIDENSHA SCF-152H52WR

MEIDENSHA SCF-202H52WR

MEIDENSHA SCF-152.1H52WR 

MEIDENSHA SCF-152.5H52WR

MEIDENSHA SCF-153H52WR

MEIDENSHA SCF-153.5H52WR

MEIDENSHA SCF-153.7H52WR

MEIDENSHA SCF-124H52WR 

MEIDENSHA FH52 

MEIDENSHA SCF-124.5H52WR

MEIDENSHA SCF-125H52WR

MEIDENSHA SCF-105.5H52WR

MEIDENSHA SCF-106H52WR

MEIDENSHA SCF-106.5H52WR

MEIDENSHA SCF-107H52WR

MEIDENSHA SCF-56H52WR

MEIDENSHA SCF-107.5H52WR

MEIDENSHA SCF-510H52WR

MEIDENSHA SCF-810H52WR

MEIDENSHA SCF-512.5H52WR 

MEIDENSHA SCF-315H52WR

MEIDENSHA SCF-515H52WR

MEIDENSHA SCF-317.5H52WR

MEIDENSHA SCF-320H52WR

MEIDENSHA FH65C 

MEIDENSHA SCF-350.5H65C

MEIDENSHA SCF-351H65C

MEIDENSHA SCF-351.5H65C

MEIDENSHA SCF-351.75H65C

MEIDENSHA SCF-352H65C

MEIDENSHA SCF-352.5H65C

MEIDENSHA FC52 

MEIDENSHA SCF-150.5C

MEIDENSHA SCF-151C

MEIDENSHA SCF-151.5C

MEIDENSHA SCF-152C

MEIDENSHA SCF-150.5CA

MEIDENSHA FS36S 

MEIDENSHA SCF-51S

MEIDENSHA SCF-51.1S

MEIDENSHA SCF-51.2S

MEIDENSHA "SCF-51.3S

MEIDENSHA SCF-51.4S

MEIDENSHA SCF-150.8CA

MEIDENSHA SCF-150.9CA

MEIDENSHA SCF-51.5S 

MEIDENSHA SCF-52S 

MEIDENSHA FC52A 

MEIDENSHA FC62 

MEIDENSHA SCF-151CA

MEIDENSHA SCF-151.2CA

MEIDENSHA SCF-151.5CA

MEIDENSHA SCF-151.8CA

MEIDENSHA SCF-152.1CA

MEIDENSHA SCF-200.1C

MEIDENSHA SCF-200.5C

MEIDENSHA SCF-200.75C

MEIDENSHA SCF-201C

MEIDENSHA SCF-201.5C

MEIDENSHA SCF-150.1Z

MEIDENSHA SCF-150.2Z

MEIDENSHA SCF-150.25Z

MEIDENSHA SCF-200.3Z

MEIDENSHA SCF-150.33Z

MEIDENSHA SCF-150.4Z

MEIDENSHA SCF-150.5Z

MEIDENSHA SCF-150.75Z

MEIDENSHA SCF-150.8Z

MEIDENSHA SCF-150.84Z

MEIDENSHA SCF-150.9Z

MEIDENSHA SCF-151Z

MEIDENSHA SCF-151.2Z 120

MEIDENSHA SCF-151.3Z 1

MEIDENSHA SCF-151.4Z 1

MEIDENSHA SCF-151.5Z 1

MEIDENSHA SCF-151.8Z 1

MEIDENSHA SCF-152Z 200

MEIDENSHA SCF-52.5Z 25

MEIDENSHA SCF-102.5Z 2

MEIDENSHA SCF-53Z 300 

MEIDENSHA SCF-103Z 300

MEIDENSHA SCF-53.5Z 35

MEIDENSHA SCF-103.5Z 3

MEIDENSHA SCF-54Z 400 

MEIDENSHA SCF-104Z 400

MEIDENSHA SCF-55Z 500 

MEIDENSHA SCF-105Z 500

MEIDENSHA SCF-152.2 22

MEIDENSHA SCF-152.5 25

MEIDENSHA SCF-153 300 

MEIDENSHA SCF-56 600 

MEIDENSHA SCF-57 700 

MEIDENSHA SCF-58 800 

MEIDENSHA SCF-59 900 

MEIDENSHA SCF-510 1000

MEIDENSHA VP94

MEIDENSHA VP110" 

MEIDENSHA VP82

MEIDENSHA VP82L VP94L" 

MEIDENSHA VP65" 

MEIDENSHA SCV-510M

MEIDENSHA SCV-514M

MEIDENSHA SCV-155M

MEIDENSHA SCV-520M

MEIDENSHA SCV-1010

MEIDENSHA SCV-204

MEIDENSHA SCV-1010G

MEIDENSHA SCV-205G

MEIDENSHA SCV-55

MEIDENSHA SCV-151

MEIDENSHA SCV-152

MEIDENSHA SCV-152.5

MEIDENSHA SCV-155G

MEIDENSHA SCV-7.55

MEIDENSHA SCV-514M  5KV-1400PF

MEIDENSHA SCV-205G  （MWF034）

MEIDENSHA SCV-204

MEIDENSHA SCV-520M

MEIDENSHA SCF-201C

MEIDENSHA SCF-200。5C 

MEIDENSHA SCF-55Z

MEIDENSHA SCV-250.8D

MEIDENSHA SCV-202D

MEIDENSHA SCF-153

MEIDENSHA SCV-520M 

MEIDENSHA SCV-514M   5KV-1400PF     

MEIDENSHA SCV-514M  5KV-1400PF

MEIDENSHA SCV-7.55

MEIDENSHA SCF-150.1Z　　

MEIDENSHA SCV-152.5

MEIDENSHA SCV-514M

MEIDENSHA SCV-151

MEIDENSHA SCV-155M

MEIDENSHA SCV-510M

MEIDENSHA SCV-7.55 (5KV-500pF）

MEIDENSHA SCV-155M(15KV-500pF)

MEIDENSHA SCV-205G

MEIDENSHA SCF-201C

MEIDENSHA SCV-55

MEIDENSHA SCV-7.55

MEIDENSHA SCV-151

MEIDENSHA SCV-152

MEIDENSHA SCV-152.5

MEIDENSHA SCV-510M

MEIDENSHA SCV-514M

MEIDENSHA SCV-155M

MEIDENSHA SCV-520M

MEIDENSHA SCV-1010

MEIDENSHA SCV-204

MEIDENSHA SCV-155G

MEIDENSHA SCV-251G

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MEIDENSHA SCV-252.5G

MEIDENSHA SCV-1010G

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MEIDENSHA SCV-250.3G

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