| 型号： | cl |
|---|---|
| 品牌： | 晨立 |
| 原产地： | 中国 |
| 类别： | 工业设备 / 电子电气产品制造设备 |
| 标签︰ | 氧化炉 , 退火炉 , 氧化镓 |
| 单价： |
¥200000
/ 件
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| 最少订量： | 1 件 |
| 最后上线︰2024/12/21 |
该设备用于氮化镓（GAN）芯片生产工艺过程中的真空退火、合金、氧化、扩散等工艺。该系统具有精确温度控制系统和真空压力控制系统。
主要参数：
工作温度范围： 600-1280 度。
使用温度：1200 度。
每炉可处理 25 片。标准晶圆舟 25 片。
炉管有效口径：满足 6 寸片，可向下兼容 4、2 寸。
升温功率：18KVA/每管 。
电源：三相五线制： 380V 三相五线。
具有断偶、超温报警以及二次保护功能。
