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一、 设备概述

用途：清洗，活化，退镀，改性，蚀刻，提升附着力等功能

等离子体清是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。

特点：低温，全方位表面清洗，环保

真空等离子表面处理系统是一种全新高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果，在多个领域中都得到了广泛的应用。等离子清洗使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题; 在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能。通过等离子体轰击，材料表面微观层面活性增强，能明显改善涂覆效果。利用等离子技术对这些材料进行表面处理，

在高速高能量的等离子体的轰击下，这些材料结构表面得以最大化，同时在材料表面形成一个活性层，这样橡胶、塑料就能够进行印刷、粘合、涂覆等操作。应用等离子技术对橡塑表面处理，其操作简单，处理前后没有有害物质产生，处理效果好，效率高，运行成本低。在真空等离子清洗时加入一定量的 Ar 和氧气能够达到更好的清洁效果。

等离子清洗机尺寸图

等离子清洗机正面

二、 机构特点

真空腔是一个由不锈钢制成的容器，在腔体内进行真正的等离子处理工序。此腔体的设计通过保持气体流动的连续性和恒定性来维持机器设备运行时的稳定性。此真空腔主要由电极、气体

分配管路、真空阻断器、真空腔门等四部分组成。

场地要求：

电   源：三相五线   独立接地，接地电阻≤2Ω。应使用截面积4mm2以上的接地铜线（建议使用独立接地体，接地电阻必须≤2Ω。）将设备接至PE。

气    源：氮气 0.45MPa其它工作气体(氧、氩、氢、氦等)：≤ 0.45MPa

压缩空气：0.5Mpa

真空泵排放气管：软管，管径（内径）φ25mm。建议将排气管接至室外，并且在排气管路上设置防止水、油流回的装置。

场地温度：≤40℃

相对湿度：RH（35-65）%

产品验收标准

产品验收以技术方案中的主要技术参数中的14项作为验收标准，验收报告以此作为基准出具验收表格，方案中的其他各项均应符合实际的机器配给情况。