产品描述
Nikon 全自动影像量测系统
高精度全自动影像量测系统 VMR1515//VMR-3020/VMR-6555/VMR10080/VMR12072
◎ 载物台行程: 150X150×150/300×200×150/650×550×150/1000×800×150/1200×7200× 150mm 可供选择。
◎ Z 轴高精度量测:使用雷射;重现性 0.5μm
◎ 点、线、弧、圆、椭圆、 pitch 量测及特殊形状量测模式
◎ 五阶段放大倍率 18X-270X或36X-540X或72X-1080X
◎ 2.5× 及 5× 辅助镜解析至 680×~1,375×
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【光源】
( a ) 底部表面光源
( b ) TFI-30 ,斜角度之光源 37度 75度
( c ) Laser TTL 高倍辅助镜光源
( d ) TTL 透过透镜之光纤光源
另可提供彩色屏幕,看实际产品颜色及打印 scan laser 扫描物体轮廓,利用Best Fit求最小公差
程序 copy 功能:位移、角度及影像 copy 方式
可量测 XZ 、 YZ 平面上之弧、角度及轮廓
取点:当工件异位可自动搜索,侦测正确位置
软件提供联机作报告表格及统计分析
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产品图片
图 1
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