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高速直驱UVW纳米对位平台

六轴高速纳米对位平台

MT高精密运动系列产品，主要作用于nm至亚um级别的高精度运动需求．

产品运动形式包含单轴线性运动、垂直线性运动、旋转运动、俯仰旋转运动等，且可根据具体要求组合成复合运动平台

常用于：光学、光纤、半导体前段制程、军工科研等领域．该系列标准产品的基础上，亦可接受客制化特规产品的R&D服务。

MT系列纳米高速对位平台产品，提供了完整6 自由度纳米至亚微米级别的高精度对位需求。产品依运动形式

分为四个模块，包括：单轴线性水平运动模块、准平垂直升降运动模块、平面旋转运动模块、共面俯仰摆角运动模块；

各模块含有多种外型尺寸可供选择且可根据具体需求组合成复合运动平台，亦接受客制特规产品的服务，例如使用于超高真空下对应的解决方案。

线性马达驱动，无背隙快速位移

高分辨率光栅尺使用：20nm

超精密运动性能：重复精度+/-0.1um

模块套件化：6轴自由度轴各有三种尺寸可供组合

高速直驱UVW纳米对位平适用场合

1.超精密自动化组装设备

2.摄像头模组主动对位（AA）设备

3.光纤精密组装对位设备

4.柔性屏精密贴合设备

5.半导体晶圆检测设备

深圳欧洛克自动化科技有限公司主要产品有日本电产SHIMPO（新宝）减速机、德国格莱斯纳Graessner直角减速机、日本帝人摆线针轮减速机、机器人RV减速机、谐波减速机、中空旋转平台减速机、日本贝托(Beitto)行星减速机、BFCN送料振动盘、十字转向器(90度转角减速机)、SATA直线模组、伺服电动缸、视觉无人叉车、高速UVW纳米对位平台