首页 > 产品信息 > 电子、电力 > 其它电力、电子

中科院光电所URE-2000/35型紫外光刻机 1
  • 中科院光电所URE-2000/35型紫外光刻机 1

中科院光电所URE-2000/35型紫外光刻机

型号:URE-2000/35型紫外光
品牌:中国科学院光电研究所
原产地:中国
类别:电子、电力 / 其它电力、电子
标签︰中科院电所光刻机 , 双面光刻机 , 6寸光刻机
单价: ¥500000 / 件
最少订量:1 件
发送查询 添加到查询篮

会员信息

详细信息

上海螣芯电子科技有限公司

免费会员上海市闵行区
即时通讯:点击这里给我发消息 上线︰2021/01/15

产品描述

产品名称:URE-2000/35型紫外光刻机

主要技术指标:

曝光面积:100mm×100mm
分辨力:1um(胶厚1.5μm的正胶)
对准精度:±0.8μm
胶厚:300μm(SU8胶)
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
样片尺寸:直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm);
照明均匀性:±4%(Ф100mm 范围)
汞灯功率:350W(直流)
掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

技术特点:

创新采用三柔性支点实现高精度自动调平;真空接触自动曝光;样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制;采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明;可连续设定分离间隙;采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。
 
 


 

 


产品图片

中科院光电所URE-2000/35型紫外光刻机 1
图 1

向该会员发送查询

上海螣芯电子科技有限公司

上海市闵行区秀文路898号5号楼911室

电话︰
13122976482
传真︰
0-21-51567107
联系人︰
娄先生 (销售总监)
手机︰
13122976482

该公司相关产品信息

免责声明:以上信息由企业自行提供,内容的真实性和合法性由发布企业负责。「自助贸易」对此不承担任何保证责任。
举报投诉:如发现违法和不良资讯,请 点此处举报

中国供应商快速搜索︰

"其它电力、电子" 产品信息

"其它电力、电子" 供应商