| 型号： | PA-300-XL SIC |
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| 品牌： | - |
| 原产地： | 日本 |
| 类别： | 电子、电力 / 仪器、仪表 / 分析仪器 |
| 标签︰ | 内应力 , 相位差差测量 , 双折射仪 |
| 单价： |
-
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| 最少订量： | 1 件 |
| 最后上线︰2020/04/20 |
在PA系类设备的基础上，加装晶圆专用的装置，可以高效精确的测量SIC和蓝宝石这类光学性能特殊的产品的双折射和残余应力的信息。
主要特点：
应用领域:
技术参数：
| 项次 | 项目 | 具体参数 |
| 1 | 输出项目 | 相位差【nm】，轴方向【°】，相位差与应力换算（选配）【MPa】 |
| 2 | 测量波长 | 520nm |
| 3 | 双折射测量范围 | 0-130nm |
| 4 | 测量最小分辨率 | 0.001nm |
| 5 | 测量重复精度 | <1nm（西格玛） |
| 6 | 视野尺寸 | 40x48mm到240x320mm（标准） |
| 7 | 选配镜头视野 | 不适用 |
| 8 | 选配功能 | 实时解析软件，镜片解析软件，数据处理软件，实现外部控制 |
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