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1、整机机构：采用大理石平板底座、龙门式机构。设备精度稳定、环境适应性强、整机坚固不易变形，人性化操作机构设计、结实简洁大方、测量软件功能强大而且操作简单。

2、仪器特点

1）00级高精密济南青仪器专用花岗岩，保证设备整体机构平台的精度；

1. 导轨直接固定在大理石上，减少累积误差，保证导轨运行的俯仰及偏摆精度；

1. 龙门（Y轴）运动采用大功率直线电机传动，降低了运动时产生的噪音，运行更加流畅，在整体结构上采用运动平台带动龙门的方式，可使其运行更加稳定，不会因为速度过快产生前后俯仰。相比于传动丝杆结构，龙门运动方向由2根线性导轨增加到4 根。能够降低龙门运动时的扭摆，提高设备精度和稳定性。
2. X/Y直线电机/Z轴伺服电机驱动，与传统的丝杆传动/皮带传动相比运动速度更高，定位精度更好，噪音更小。
3. 横梁经过有限元模拟分析设计，提高X轴横梁的刚性及最佳质量比；

1. 底灯运动固定板与立柱横梁闭环设计，最大程度减少龙门桥架移动时的扭摆；

1. Z轴集成化设计，轻松兼容40相灯，激光,探针等功能；

1. 控制柜与机身一体设计，减少机台走线长度；

1. 大理石按照量具标准制定长宽厚尺寸，保证最基础精度；

1. 增加软硬限位减速开关，防止机台冲撞限位；

1. 限位减速电路板集成设计，便于安装调试；

1. 主控电路模组化设计,预留多个功能借口,即插即用,包括预留机械手IO接口；

14）电机动力线，编码线分离走线方式，降低内部电路干扰；

1. 合理匹配马达驱动各轴的惯量，提高设备运行的稳定性并保证运动定位精度；

1. 优化传统底灯照射光线角度及范围，使用影像视窗成像最大程度较少死角；

1. 高精度面阵补偿板结合测量软件进行整个载物台面的精度补偿，超大行程龙门机台玻璃载台面积大，传统厂家利用单轴玻璃线纹尺无法保证整个台面精度；
2. 测量软件：采用本公司研发的，功能强大的测量软件，可以方便快捷的对各种

工件进行精确量测，为用户提供了完善的测量解决方案