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主要特点：

该系统由前级无油泵，后级分子泵，真空传感器和电子控制系统和LED液晶显示组成，此系统是用来抽吸或压缩空气和其它无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体，以便在封闭容器中形成真空和压力，吸入气体中允许混有少量液体。它被广泛用于新能源材料，金属材料，磁性材料，半导体材料，陶瓷材料，电化学，薄膜材料，CVD,PECVD ,石墨烯，硅纳米管，纳米线，等研究领域。由于在工作过程中，气体的压缩是等温的，所以在压缩和抽吸易燃、易爆气体时，不易发生危险，所以其应用更加广泛。

技术参数：

系统整体极限真空度：5.0*10-5pa

实验真空度：5.0*10-3pa

功率消耗： 140W

启动时间： 2min   

电源要求： 90-132/185-265VAC

环境温度： 5-32℃

空气相对湿度： ≤85%

工作电压： 220V±10%

外型尺寸：600*600*650mm