我公司硅基定位基片制作已有20年的历史，具有丰富的设计经验和稳定的制作工艺，使得我公司硅基定位基片产品周期精度高达0.3um。产品稳定，一致性好，没有累积误差。特别是对于异形硅基定位基片的加工，更是具有独到的工艺控制。目前接受异型产品定制。
产品参数
通道数量
1-2000
通道间隔
只接受客户定制
V槽宽度误差
0.5μm
V槽中心距周期误差
0.3um
基片外形尺寸
客户定制
基片厚度
0.5mm、1mm
