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Surpass大口径干法刻蚀机装备 可定制 1
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Surpass大口径干法刻蚀机装备 可定制

型号:-
品牌:超迈光电
原产地:中国
类别:工业设备 / 其他工业设备
标签︰镀膜机 , 刻蚀机 , 真空炉
单价: -
最少订量:1 套
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成都汉普升科技有限公司

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即时通讯:最后上线︰2023/12/01

产品描述

●Surpass系列 干法刻蚀机,特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀,刻蚀尺寸可达φ2500mm,通过高密度等离子体及离子浓度修正系统,可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标,满足大口径基片刻蚀的需求。



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Surpass大口径干法刻蚀机装备 可定制 1
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