| 型号： | CL |
|---|---|
| 品牌： | 晨立 |
| 原产地： | 中国 |
| 类别： | 工业设备 / 通用机械 / 电热设备 |
| 标签︰ | 实验炉 , 热处理炉 , 氧化炉 |
| 单价： |
¥220000
/ 台
|
| 最少订量： | 1 台 |
| 最后上线︰2025/01/08 |
设备用途：实验炉是半导体加工中的典型热处理设备，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
主要技术参数：
◆工艺管数量：1-4管
◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆工作温度范围：400～1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）
◆结构型式：卧式热壁型
◆气体流量设定精度:±1％F.S
◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
