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晶圆高真空退火设备

型号：CL
品牌：晨立
原产地：中国
类别：工业设备 / 电子电气产品制造设备
标签︰退火炉 , 晶圆退火设备 , 真空炉
单价： ¥360000 / 件
最少订量：1 件
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青岛晨立电子有限公司

商务会员山东省青岛市
最后上线︰2025/03/18

所有产品信息 (45)

产品描述

晶圆真空退火炉主要用于半导体晶圆在高真空环境下的低温退火。

尺寸：4-8英寸晶圆

晶圆舟：标准25片

控温精度：±3℃

升温速率：10℃/min

洁净等级：百级洁净

真空度：5*10-4 Pa

使用温度：200-550度


产品图片

晶圆高真空退火设备 1
图 1
晶圆高真空退火设备 2
图 2
晶圆高真空退火设备 3
图 3
晶圆高真空退火设备 4
图 4
晶圆高真空退火设备 5
图 5

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