产品描述
产品应用：主要用于生长钝化与多层布线介质用的氮化硅、氧化硅及掺杂等，以及125mm×125mm或156mm×156mm太阳能硅片上淀积氮化硅减反射钝化膜。
产品特点：
◆ 用工控机对工艺时间，温度，气体流理，阀门动作，反应室压力实现全自动控制
◆ 采用进口压力控制系统，闭环系统，稳定性高
◆ 采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门，确保气路气密性
◆ 具有完善的报警功能及安全互锁装置
◆ 具有超高温报警，MFC报警，反应室压力报警，RF报警，高压空气压力报警，高压空气压力报警，N2压力报警，水流报警等
◆ 悬臂式送料装置
◆ 适合晶体硅太阳能新工艺的探索实验
主要技术指标：
1. 工作温度：150～500℃，
2. 装片数量(太阳能电池片)：250片/每炉管（125mm×125mm） 192片/每炉管（156mm×156mm）
3. 压力调节范围：13~300Pa连续可调，闭环控制
4. 温度长度（150~500℃）：1000mm
5. 温区稳定性：±2℃（450℃）
6. 淀积速率：30nm/min
7. 极限真空度：优于1Pa
8. 淀积膜均匀性：片内≤±5%
9. 射频单元：进口RF电源,40/400KHZ连续可调
产品图片
图 1
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