产品描述
矽基科技公司之蒸镀设备特点如下。
提供一下五种蒸镀设备：
1）金属电子束蒸镀系统（Metal E-Beam System)
2）金属热阻式蒸镀系统（Metal Thermal System)
3）ITO（Oxide)电子束蒸镀系统（ITO E-Beam System)
4）电子束与热阻式复合式复合式蒸镀系统（E-Beam+R/H System)
5）双电子束蒸镀系统（Dual E-Beam System)
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