产品描述
公司介绍:
上海茂竺以高端技术产品和技术服务相辅并进的快速发展模式。为半导体、医药及生物芯片等行业提供厂务所必需的洁净材料部件(隔膜阀、EP(BA)管道等)以及特殊气体设备[例如特气柜(GAS CABINET) 、阀门箱(VMB)],化学品供应系统(例如CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX)。
上海茂竺信奉以客户为中心的服务理念,提供设备安装及二次配管等一系列高纯系统的整体解决方案,具体内容覆盖了从方案设计到安装、测试等方面。茂竺电子通过控制项目的重复设计和建设,达到花费项目资金和周期的最小化。
我们主要服务于以下各行业:
高亮度发光二极管外延HB-LED: 主要工艺设备 MOCVD 光刻机等
有机发光二极管OLED: PECVD, 溅射台,蒸发台OLED台,OTFT台,
太阳能电池:主要工艺设备 PECVD,SPUTTER等
硅外延:外延炉
微机电系统MEMS:主要工艺设备RIE,LPCVD,ICP,等离子清洗机,溅射机等
医药及生物芯片:
平面及等离子显示器:
化工:
其他材料薄膜制造设备:APCVD,LPCVD,MBE,HVPE等。
特气设备及洁净部件(特气钢瓶柜、阀门箱)主要用于控制高纯特殊气体,又称电子特气,包括氢气H2、氮气N2、氧气O2、 氩气Ar、磷烷PH3、砷烷AsH3、硅烷SiH4、乙硼烷B2H6、氨气NH3、三氯一氢硅烷TCS、Freon氟利昂气体、 氯气CL2、氯化氢气体HCL、三氯化硼BCL3、三甲基硼TMB、硼烷B2H6、二氯二氢硅烷DCS等等多种气体或液化气体。同时,提供危险气体的泄漏探测器(探测系统)及一般气体的浓度侦测等服务。
产品图片
图 1
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