优势
特点
快速——置点之的流量淀不到2秒
无与伦比的可靠性——一年零漂移不到度流量的0.5%
易于整合——准连接器和尺寸
出色的效果——薄膜的特性
防腐
金属密封
VCR® 、VCO®及 Swagelok®共容性连接
全金属密封
度流量范10 sccm-200 slm
常或常的磁控制
泄漏率1 x 10-10 atm-cc/sec of He