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美国AE Pinnacle直流电源|磁控溅射电源 1
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美国AE Pinnacle直流电源|磁控溅射电源

型号:Pinnacle
品牌:美国AE(Advanced Energy)
原产地:中国
类别:电子、电力 / 电源和配电设备 / 其它电源和配电设备
标签︰直流电源 , DC电源 , AE电源
单价: -
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深圳市利方达科技有限公司

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即时通讯:最后上线︰2019/03/25

产品描述


业界公认的 Pinnacle® 直流电源平台具有绝佳的工艺一致性和控制功能,从而大大减少了工艺变化,提高了产量。这个紧凑、功能强大的套件提供了业界最低的存储能量、最快的弧反应以及最广的全功率运行阻抗范围。


优势:


●最低的运行和安装成本


●业界最快的弧反应时间 


●可配置的弧反应参数 


●最大的工艺效率


●精确的工艺控制


特点: 


●最低的存储能量——每千瓦输出不到 1mJ


●无需调节输出变压器


●4:1的阻抗范围


●靶材处理时间——最大限度地缩短新靶材的处理时间


●±0.1%的输出重复性


●Joule 模式——最优化的能量传送.


规格:


●输入电压:200/208、400或480VAC(±10%)、3Φ4线、50/60kHz


●功率因素:负荷>90%


●输出电压:低Z、标准Z或高Z


●输出极性:浮动默认值,具有正和负功能


●输出波纹电压:与输入线频有关,输出波纹电压分量<5%RMS


●输出功率重复精度:0.1%,从设计功率到10%100%


●负荷调整:±1%,输出阻抗范围的V-1限值内4﹕1的 负荷变化


●温度系数:>2040的环境温度范围内调整输出参数变化<0.005%/


●模拟接口选项:37针绝缘,010VDC模拟。0/24VDC数字


              37针,0至10VDC模拟,0/15VDC数字


              37针,0至5VDC模拟,0/15VDC数字


●串行通信选项:RS-232,RS-422,RS-485(可选波特率高达57.6K)


              AE Bus 协议


              ASCⅡ协议(MDX和仿真)


              Profibus(可选波特1.5或12MB)AE Bus协议


              具有DeviceNet®选项


●输出功率接头:三个终端、多个触点、可插入式接头、UHF、军用附件或接线环


●输入功率接头:五个终端,DIN压缩接头


尺寸:133×483×639mm(高×宽×长)


●重量:29.5kg


Pinnacle® 6KW6/6KW8KW10KW10/10KW12KW15KW20KW


产品图片

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图 1

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