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椭偏仪(SE) 1
  • 椭偏仪(SE) 1

椭偏仪(SE)

型号:SE200BA-MSP
品牌:AST
原产地:美国
类别:电子、电力 / 仪器、仪表 / 光学透镜和仪器
标签︰椭偏仪 , 薄膜分析 , 多层分析
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北京燕京电子有限公司

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产品描述

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E-mail:liusp@beijingec.com

仪器介绍
比起反射法来说,椭圆偏光仪的Psi和Del这两个参数,提供了更多的信息。因此,通过椭圆偏光技术,更多的信息可以被容易的获取,例如,多层薄膜分析、介电常熟的计算、表面或界面的粗糙度、不均匀性分析等。
 Angstrom sun SE系列椭偏膜厚测试仪广泛应用于:
1对于薄膜、涂层、大基底的光学常数(折射率n和消光系数k)
2 对于薄膜的非破坏性准确厚度测量。
3对于各种薄膜中合金浓度的测定,例如SiGe合金中Ge的测定、AlGaN膜中Al的测定。
4对于GaN、SiC、AlN、AlGaN等,它们带隙的测定。
5在低介电常数下测定薄膜的孔隙率。
6测定纳米复合材料中所含每种成分的体积比含量。
7可以测定多层堆叠或者像量子阱结构的周期性结构中的每一层的物理厚度和光学特性。
8对薄膜在密度或合金的浓度上的不均匀性进行分析
8分析高介电常数薄膜的光学特性
9金属薄膜、金属化合物(例如WN、TiN、TaN等)、 掺杂半导体epi层(同时也决定了厚度)及其他的诸如ITO薄膜等复合氧化物的电导率进行无损检测。
10掺杂半导体掺杂浓度的无损检测

 

  • 主要特点

技术参数
•波长范围:250nm~ 1000nm
•波长分辨率:1nm
•光斑尺寸:1~ 5mm
•入射角范围:10~ 90度
•入射角分辨率:0.01度
•数字图像:130万像素
•有效放大倍率:x 1200
•物镜的长工作距离:12mm
•中型光束尺寸:2 - 500㎛
•样品尺寸:最大直径300mm
•基板尺寸:最厚20mm
•可测量厚度范围:1Ǻ ~10㎛
•测量时间:〜1s/Site
•精度:优于0.25%
•重复性:<1 Ǻ

 


 


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椭偏仪(SE) 1
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