产品描述
涡轮分子泵系列
莱宝的TUBOVAC系列陶瓷轴承涡轮分子泵有五种规格，抽速自50至1100升／秒，极限真空度为＜10-10mbar。
其主要特点为：
◆陶瓷轴承为脂润滑，无维护运行时间长。
◆允许任意角度安装。
◆有水冷和风冷两种选择。
◆对H2的压缩比大。
◆无油真空泵，可用来产生洁净的超高真空。
TW系列复合分子泵
抽速：70～1600升／秒
极限真空度：10－9mbar
最大允许前级压强：6～14mbar
主要特点有：
◆转子叶片为一次成型，消除了叶片应力，使得前级耐压高达14mbar，并能抵抗短暂的大气冲击。
◆高效的风冷系统，使其在绝大多数工作条件下无需冷水。
◆变频器与泵体的一体化设计，避免了连接变频器带来的不便。
◆模块化的设计为用户提供了多种选择。
◆结构紧凑，可方便地安装到复杂的系统中。
◆可以任意角度安装。
◆螺旋式的拖动级耐粉尘能力强。
◆轴承为油脂润滑，无维护运行时间长。
◆无油真空泵，可用来产生洁净的高真空和超高真空。
◆可在轴承需要维护时提前预警。
◆通过通讯接口可以与掌上电脑，PC或PLC联络，以读取分子泵工作状态的参数，以及储存单元的运行记录；并可根据需要对某些参数进行修改，如频率等。
◆高前级耐压降低了对前级泵的要求，使得系统总体造价降低。
新一代数字化控制，五轴定位的磁悬浮分子泵
MAG 1500C／CT，MAG2000C／CT，MAG2200C／CT，MAG 2800C／CT，MAG 3200C／CT
抽速：1500l／s～3200l／s
●五轴定位双端磁悬浮轴承系统，自平衡性能好全无油，耐粉尘、抗气流冲击。
●转子采用高强度铝合金，一次高速铣削成形，应力小，强度高，耐冲击，高温变形量小，转子叶片不易卷曲、打碎；转子长期运行温度可高达120℃。
●转子及定片均采用莱宝专利技术的 KAPLAR 涂层
●较镀镍的转子具有更强的防腐蚀性能，适用于抽除腐蚀性强的工艺气体；
●降低气流与转子叶片摩擦产生的热量，降低转子运行温度，有利于延长转子寿命；
●叶片镀 KAPLAR 的转子较镀镍的转子重量更轻。
●保护轴承为陶瓷轴承，寿命长（＞600次），无需更换保护轴承。
●高真空端连接采用ISO-F，连接螺栓强度高，充分保障安全。
●智能化电源，无需UPS。
●带拖动级，前级耐压在2mbar以上。
●分子泵运行温度可调节，使其充分适应不同工艺制程。
●最先进的数字控制技术
●运行速度、温度可设置；
●运行数据记录存储，提供多达180条运行信息；
●磁悬浮轴承及泵运行温度采用数字化控制，信号处理速度快，系统反应时间短
●转子受气流冲击或杂物不均匀沉积在叶片而使转子动平衡变化时，磁场补偿反应时间短；
●在气流长时间（2分钟以上）过大，而使泵负载过高，发热量过大时，泵速会快速自动调节，使泵温下降到正常水平。
●控制器与泵无识别性，可互换。
●免维护。
典型应用：
适用于
●所有半导体主要制程：刻蚀、化学气相沉淀及离子注入
●科研领域
●镀膜
另外，莱宝公司磁悬浮分子泵系统中还包括单轴定位的 TURBOVAC340M，MAG400和MAG 1000。
产品图片
图 1
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