产品描述
气体质量流量计CMS(树脂、SUS、SUS316)系列是检测部分采用本公司独自开发的感热式流速传感器“MicroFlow™传感器”的质量流量计。利用微型机械技术制造的超小型流速传感器和高度的集成电路设计技术的结合，以低成本实现了以前达不到的高精度和宽量程。并且，易于使用，可靠性高。气体质量流量计CMS(用于氢气和氦气)系列是检测部分采用本公司独自开发的超小型感热式流速传感器“MicroFlow™传感器”的质量流量计。利用微型机械技术制造的超小型流速传感器和高度的集成电路设计技术的结合，以低成本实现了以前达不到的高精度和宽量程。并且，易于使用，可靠性高。
盘装质量流量控制器MPC系列是本公司独自开发的超高速响应流速传感器。集MicroFlow传感器、超小型比例电磁阀、新方式的流路和高度的执行器技术于一体，可安装在仪表盘上的质量流量控制器。数字质量流量控制器。
CMQ-V系列是面向一般产业市场，具有高速、宽量程流量控制特点的新一代高性能低成本的气体流量控制器。集本公司独自开发的超高速响应流速传感器-MicroFlow传感器、比例电磁阀和高度的执行器技术于一体的高性能数字质量流量控制器。数字质量流量控制器CMQ-V系列中流量型是面向一般产业市场，具有高速、宽量程流量控制特点的新一代高性能低成本的气体流量控制器。集本公司独自开发的超高速响应流速传感器-MicroFlow传感器、比例电磁阀和高度的执行器技术于一体的高性能数字质量流量控制器。数字质量流量控制器CMQ-V系列(用于氢气和氦气)是面向一般产业市场，具有高速、宽量程流量控制特点的新一代高性能低成本的气体流量控制器。集本公司独自开发的超高速响应流速传感器-MicroFlow传感器、比例电磁阀和高度的执行器技术于一体的高性能数字质量流量控制器
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图 1
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