型号: | OX400 |
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品牌: | Yokogawa |
原产地: | 日本 |
类别: | 电子、电力 / 仪器、仪表 / 分析仪器 |
标签︰ | 横河 , 微量氧 , 氧气分析仪 |
单价: |
-
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最少订量: | - |
最后上线︰2019/03/09 |
OX400可用于控制和监视各种半导体应用,并控制环境,空气泄漏入惰性气体及其他过程。
用于半导体扩散炉和烘干炉,以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制,用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度,以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量,测量氧气浓度。
主要技术参数:
测量对象 |
惰性气体中的氧气浓度 |
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测量系统 |
氧化锆系统 |
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采样方法 |
泵式、抽提式等 |
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样气条件 |
流速:200±25ml/min(仅适用于传感器) |
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测量量程 |
0~10ppm O2至0~100vol% O2 |
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输出量程 |
自动: |
0~10ppm,0~100ppm,0~1000ppm,0~1%,0~10%,0~100%(默认) |
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固定: |
设为0~10ppm,0~100ppm,0~1000ppm,0~1%,0~10%,或0~100% |
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部分: |
可设置下限值或上限值 |
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模拟输出 |
2路输出,第一路:4~20mA DC(最大负载电阻550Ω),第二路:可选为0~1,0~5,0~10V DC(负载电阻:10kΩ或更大) |
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接点输出 |
报警输出2点: |
错误接点,O2浓度报警接点 |
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指定量程范围输出1点: |
接点输出 |
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多选择器(选配件): |
流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出 |
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接点输入 |
1点:采样气体吸入泵的远程ON/OFF |
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自诊断 |
故障: |
传感器错误,加热器温度错误,温度传感器断开,设备温度错误,CPU错误,FAN停止 |
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报警: |
加热器不稳定,传感器错误,电动势异常,非对称电压错误错误,标定错误,传感器电阻错误,O2浓度上/下限,超限 |
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串口通信 |
RS-232,38400 bps |
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标定方法 |
(1)3点:10ppm,1000ppm,空气,(2)2点:可设定为零点气和量程气标定,(3)1点,(4)空气标定 |
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暖机时间 |
20分以内 |
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电源 |
100~120V AC/220~240V AC,50/60Hz |
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功耗 |
100~120V AC,200VA 最大,220~240V AC,400 VA 最大 |
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尺寸 |
213 (W) x 132 (H) x 约375 (D) mm |
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质量 |
约5kg |
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管线连接 |
气体入口:Rc1/4或1/4NPT内螺纹 |
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环境条件 |
安装条件: |
室内,盘装或壁装,非易燃区域 |
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环境温度: |
0~40℃,无结露 |
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环境湿度: |
5~85%RH |
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储存温度: |
-5~50℃ |
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±1%F.S.(10,100,1000 ppm,1%,10%或100%) |
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线性 |
±2%F.S. |
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响应时间 |
90%响应 |
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漂移 |
±2%F.S./周 |