| 型号： | - |
|---|---|
| 品牌： | 科的 |
| 原产地： | 中国 |
| 类别： | 工业设备 / 其他工业设备 |
| 标签︰ | 高纯气体 , 四氟化碳 , 佛山科的 |
| 单价： |
¥100
/ 瓶
|
| 最少订量： | 1 瓶 |
| 即时通讯: | 最后上线︰2013/12/02 |
| 型号/牌号 | 科的 | 产商 | 佛山科的 |
| 用途级别 | 分析纯 | 含量 | 99.999（％） |
四氟化碳（CF4）
|
项目 |
指标纯度% |
|||
|
四氟化碳（CF4） |
99.999% |
99.9997% |
99.99994 |
|
|
杂质含量
|
氮气 |
﹤5ppm |
﹤1ppm |
|
|
氧气 |
﹤2ppm |
﹤0.5ppm |
﹤100ppb |
|
|
氩气 |
- |
- |
﹤20ppb |
|
|
氢气 |
- |
﹤0.5ppm |
﹤100ppb |
|
|
总烃 |
﹤1ppm |
﹤0.1ppm |
﹤50ppb |
|
|
一氧化碳 |
﹤1ppm |
﹤0.1ppm |
﹤50ppb |
|
|
二氧化碳 |
﹤1ppm |
﹤0.25ppm |
﹤100ppb |
|
|
水 |
﹤2ppm |
﹤1ppm |
﹤200ppb |
|
主要用途:
在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体，挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，在900℃时，不与铜、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
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