产品描述
激光调阻机解决方案
产品特点：调阻精度高
先进的激光器提供了TEM00高光束质量和极细线宽的激光束
四线制高速测量系统，测量时间仅为25us
拥有软件预调误差补偿功能
调阻速度快
先进的激光器拥有极高的重复频率，在保证光斑重叠率的情况下能拥有很高速度
德国进口扫描振镜，扫描速度极快
高精度分步重复机构，空气轴承，移动速度及加速度快
可靠性高
整机配置核心器件均采用原装进口配置
采用花岗岩台座，稳定可靠
功能强大
拥有温度实时补偿功能
同时具有激光划片和打标功能
运行及维护成本低廉
采用半导体端面泵浦或光纤激光器
使用寿命长，性能稳定
电光转换效率高，节约用电成本
采用风冷系统，无须外置冷却设备
操作简单，无须高额培训成本
激光调阻机技术参数：
激光器系统
激光类型：半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器
激光波长：1064/532/355nm
激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)
激光频率：200Hz-50KHz
典型光斑尺寸：30µm
实际切口取决于材料、光学器件和波长；可根据需要选配532绿激光或355紫外激光最小光斑达12µm
泵浦源使用寿命：20,000—100，000小时
冷却方式：风冷
对焦方式：计算机程序控制
激光束定位系统
激光束运动范围：75mmX75mm（可选配其他规格）
点到点运动时间：5ms（典型）
最大速度：7000mm/s
重复定位精度：2.5µm
激光束最小步进：0.76µm
图像监视系统
监视方式：激光同轴监视
最大放大倍数：>100倍
图像监视显示屏：19寸液晶
测量系统
激励方式：电流/电压激励
恒流源：0.01µA~100mA计算机程控选择
恒压源：0~20V计算机程控选择（可选其它电压范围）
电阻测量方式：四线制加电流测电压
直流电压测量：10mV~10V（满程电压）
调节对象发热控制：程序可设定
电阻测量精度：低阻：<0.05%+1%/R （R<100Ω）
中阻：<0.05%
高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）
电阻测量范围：0.01Ω-500MΩ
电阻测量速度：25µs
直流电压分辨率：0.16µV（在10mV满量程条件下）
探针板：44针11组四线制（可选其它规格）
探针板运动：计算机程序控制
计算机及软件系统
工业控制计算机（双核），17寸液晶
操作系统：Windows XP
VB平台开发的可视化应用软件，界面友好，功能强大
分步重复运动系统
运动XY范围：290x260mm
运动分辨率：1µm
定位精度：小于6µm（带误差补偿）
重复定位精度：小于3µm
最大运动速度：900mm/s
具有温度补偿等功能
非接触温度测量
温度测量精度：0.2℃
调阻温度修正：计算机程序控制
其它技术指标
供电电压：220V AC
整机功耗：小于1000W
激光调阻机应用和市场：
主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于
厚膜混合集成电路
电子元器件
汽车电器
传感器
军工科研
片式电阻等行业
产品图片
图 1
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