产品描述
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同时实现真空、洁净、无氧和高温组合运行环境洁净度100级（FED-STD-209E）
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整体不锈钢设计,内胆及层板架采用的均为SUS304不锈钢材料
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采用进口免维护低噪音风机及高效HEPA
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多级软硬件报警和保护功能
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内容积330L或可按要求定制
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采用5”触摸液晶显示屏，设定及监控简便
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可实现参数及数据的处理、显示、记录等功能
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PLC控制模块，手动定制，自动和程序等运行模式
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产品主要应用：
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砷化镓半导体器件封装烘烤工艺
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微型传感器的封装工艺、
- MEMS的封装工艺研发
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LED等器件封装工艺和材料无尘防氧化烘烤
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产品图片
图 1
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