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技术数据

入口法兰                       DN63ISO-K

压缩比

N2                             >1 x 10E11

He                             1 x 10E6

H2                             5 x 10E4

出口法兰                       DN16NW

级间口（Hi型）                DN25NW

前级泵（推荐）                 E2M0.7

放气口                         1/8 inch BSP

吹扫净化口                     1/8 inch BSP

最高入口压力（抽轻气体） *

水冷（水温15°C，大气温度40°C）     2 x 10E-2 mbar

空冷（大气温度35°C）                 1 x 10E-2 mbar

额定转速                       90000 rpm

工作转速                       49500～90000 rpm （缺省 63000 rpm）

转速达到90%所需时间 **        110 s

冷却方式                       空冷/水冷

大气温度（空冷）               5-35 °C

冷却水最低流速（水温15 °C）    15 l/h

水温范围                       10-20 °C

入口法兰最高温度               100 °C

工作姿态                       垂直

噪音（1m处）                  <50 dB(A)

控制器（推荐）                 TIC100 涡轮控制器或TIC100涡轮仪表控制器

静止功耗                       10 W

级间泵速（Hi型）               4 l/s

泵速 ***

N2                             61 l/s

He                             57 l/s

H2                             53 l/s

极限真空（mbar）

前级泵选用旋片泵               <5 x 10E-9

前级泵选用隔膜泵               <5 x 18E-8

重量                           3.0 kg

Edwards  EXT75DX 复合涡轮分子泵

  兼容TIC涡轮仪表控制器。

多种通讯模式。

并口，用于传统控制信号接口。

串口，用于RS-232接口。

通过RS-232接口，用户可以设置各种参数RS-232。

放气阀控制设置。

正常泵速显示。

准备转速显示。

可编程功耗调整。

泵温。

增强型泵速、功耗、温度监测。